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| 參考價 | ￥1888-￥999999 | /件 |
參考價：￥1888 ~ ￥999999
更新時間：2026-06-24 10:09:33瀏覽次數(shù)：8評價
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| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,電氣,綜合 |
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駿河精機 自動舞臺 自動線性 X 軸平臺
駿河精機 自動舞臺 自動線性 X 軸平臺
精度梯度全覆蓋：經(jīng)濟型 ±1μm、精密型 ±0.5μm、閉環(huán)伺服亞微米、直線電機達亞納米級
最小運動分辨率 0.05μm，微步分割可達 0.1μm / 脈沖，微量進給無卡頓
單向定位精度最高≤3μm，全行程線性度誤差極低，長行程無漂移
重復(fù)定位精度標準 ±0.2μm，氣浮 / 壓電平臺可達 ±0.01μm 級
自研雙螺母預(yù)緊滾珠絲杠，反向間隙≤1μm，換向無滯后背隙誤差
哥特式四點接觸交叉滾柱導(dǎo)軌，四點受力，俯仰 / 偏擺角誤差極小
低速 0.1μm 微移動無爬行抖動，連續(xù)數(shù)千小時精度不衰減
氣浮平臺無機械摩擦，零磨損、無振動、無滯后，適配超高純晶圓檢測
壓電驅(qū)動平臺毫秒級高速納米微調(diào)，適配硅光、光纖波導(dǎo)耦合對位
高分辨率磁 / 光學編碼器閉環(huán)反饋，實時補償溫度、負載形變誤差
全行程三段式激光干涉校準，起點 / 中點 / 終點逐段記錄精度，附帶原廠檢測證書
多軸堆疊正交誤差出廠校準，XYZ 多軸垂直度偏差控制至角秒級
角度臺（測角臺 / 弧度臺）角度分辨率 0.001°，回轉(zhuǎn)跳動極小
自動調(diào)芯 EW 系列，對位分辨率 10nm，適配硅光子芯片光波導(dǎo)耦合
長行程滑臺冷熱循環(huán)精度穩(wěn)定，溫差環(huán)境形變抑制工藝成熟
垂直安裝工況負載定位無下沉，斷電剎車鎖定精度不變
高速啟停無過沖、無震蕩，自研運動曲線平滑算法
負載重心偏移自動補償，多軸堆疊姿態(tài)誤差抑制技術(shù)成熟
球面微調(diào)臺傾斜微調(diào)角秒級，光學光路校準專用
非接觸激光自準直 Smart LAC 系列，瞬間完成姿態(tài)測量，行業(yè)最小體積
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