一、基礎信息

核心特點

1. 大通導流導：閥板全開通流面積大，幾乎不會損耗真空泵抽氣速率，排氣阻力極低。

2. 超高氣密性：氦檢泄漏率≤1.3×10?? Pa?cm3/s，滿足高真空工況密封標準。

3. 閥體材質可選：標準款 SS400 鍍鎳；耐腐蝕款 SUS304 不銹鋼閥體。

4. 密封件選配：標配氟橡膠 FKM；普通真空環(huán)境可選 NBR 丁腈橡膠密封圈。

5. 法蘭標準：JIS B2290 VG 槽真空法蘭，匹配日系真空管路系統(tǒng)。

6. 結構牢固免維護：純機械手動結構，無需氣源與電控，無電氣故障，適合現(xiàn)場手動操作。

二、完整型號清單（標準現(xiàn)貨型號）

外形安裝尺寸（單位：mm）

三、技術參數

• 驅動方式：手輪手動機械啟閉

• 適用真空等級：高真空系統(tǒng)，極限真空可達 10?? Pa

• 法蘭：JIS VG 真空槽法蘭

• 靜態(tài)漏率：He 檢漏 ≤1.3E-9 Pa?cc/sec

• 閥體：SS400 鍍鎳（標準）/ SUS304 不銹鋼（耐蝕選型）

• 密封：FKM 氟橡膠（標配）/ NBR 丁腈橡膠

• 適用溫度：常溫真空工況

• 配套升級：可后期加裝閥位指示開關

四、行業(yè)應用場景

1. 半導體真空設備：鍍膜機、濺射設備、晶圓清洗腔體手動隔斷閥；SiC 碳化硅工藝真空管路手動切斷。

2. 真空熱處理：真空退火爐、釬焊爐、燒結爐真空管道手動開關。

3. 實驗室科研設備：電子束蒸發(fā)設備、高真空腔體旁路手動截止。

4. 凍干與鋰電行業(yè)：真空干燥箱、冷凍干燥機、原料脫泡設備真空主路手動閥門。

5. 真空機組前端：旋片泵、干泵、擴散泵入口手動隔離閥，防止停機氣體返流污染泵體。