目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>SHINKO SEIKI/神港精機(jī)>>油擴(kuò)散泵>> SD-22SHINKO SEIKI神港精機(jī) 標(biāo)準(zhǔn)油擴(kuò)散泵
| 參考價(jià) | ¥1888-¥999999 | /件 |
參考價(jià):¥1888 ~ ¥999999
更新時(shí)間:2026-06-25 13:47:37瀏覽次數(shù):6評價(jià)
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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SHINKO SEIKI神港精機(jī) 標(biāo)準(zhǔn)油擴(kuò)散泵
SHINKO SEIKI神港精機(jī) 標(biāo)準(zhǔn)油擴(kuò)散泵
SD 標(biāo)準(zhǔn)直噴型:常規(guī)高真空工況主流型號
SD-H 側(cè)噴射型:臨界背壓更高,對前級泵耐受度更強(qiáng)
配套前級泵:搭配 SVC、SR、SRB 系列油回轉(zhuǎn)真空泵組成高真空機(jī)組。
大抽速、排氣效率高:多級噴嘴結(jié)構(gòu),全口徑保持穩(wěn)定抽氣速率,大腔體快速抽至高真空。
極低油返流:油蒸氣回流量≤7×10??~2×10?? g/min?cm2,大幅減少腔體污染,鍍膜工藝良品率更高。
長壽命鑄鋁加熱器:一體鑄鋁加熱結(jié)構(gòu),受熱均勻,不易燒損,連續(xù)長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,維護(hù)周期大幅拉長。
真空度可選:標(biāo)配 SH-704 擴(kuò)散油,極限真空 3×10?? Pa;更換 DC-705 高真空油,極限真空可達(dá) 4×10?? Pa(功率提升 20%~45%)。
全不銹鋼閥體:泵體 SUS304 不銹鋼,耐水汽、輕微腐蝕性氣體,堅(jiān)固耐用。
水冷結(jié)構(gòu)穩(wěn)定:整體水套冷卻,油溫恒定,真空性能不受環(huán)境溫度波動(dòng)影響。
| 型號 | 吸氣口徑 (mm) | 排氣口徑 (mm) | 抽速 (L/s) | 極限真空 (Pa) | 加熱功率 (kW) | 裝油量 (L) | 臨界背壓 (Pa) | 冷卻水量 (L/min) | 適配前級泵 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| SD-3 | 80 | 25 | 300 | 3×10?? | 0.35 | 0.12 | 13 | 3 | SVC-150 |
| SD-4 | 100 | 25 | 450 | 3×10?? | 0.42 | 0.18 | 13 | 5 | SVC-300 |
| SD-6 | 150 | 40 | 1000 | 3×10?? | 0.75 | 0.45 | 13 | 8 | SR-25BⅡ |
| SD-8 | 200 | 50 | 1800 | 3×10?? | 1.5 | 2.6 | 13 | 13 | SR-26BⅡ |
| SD-10 | 260 | 50 | 3000 | 3×10?? | 2.7 | 2.7 | 13 | 13 | SR-37BⅡ |
| SD-14 | 350 | 80 | 5000 | 3×10?? | 3.6 | 6 | 13 | 15 | SR-75BⅡ |
| SD-16 | 400 | 90 | 7000 | 3×10?? | 5 | 3.3 | 13 | 15 | SR-75BⅡ |
| SD-22 | 550 | 160 | 13000 | 3×10?? | 10 | 6 | 13 | 18 | SR-75BⅡ |
擴(kuò)散泵油
常規(guī)款:NEOVAC SX(SH-704),性價(jià)比優(yōu)選
超高真空款:DC-705,抑制返流,獲得更高真空度
真空擋板 & 冷阱:水冷擋油板、液氮冷阱,進(jìn)一步阻擋油蒸汽返流腔體
真空閥門配套:可直連 SV-L、SNV-L 直角真空閥(同品牌管路匹配 JIS 法蘭)
溫控組件:水溫監(jiān)測、過熱保護(hù)繼電器。
光學(xué)鍍膜、半導(dǎo)體蒸鍍:光學(xué)鏡片、ITO 膜、金屬蒸發(fā)鍍膜機(jī)主抽高真空泵;SiC 晶圓鍍膜真空機(jī)組。
真空熱處理:真空退火爐、釬焊爐、燒結(jié)爐高真空主泵。
科研真空腔體:電子束設(shè)備、離子鍍膜、實(shí)驗(yàn)室高真空系統(tǒng)。
冶金 & 材料行業(yè):金屬提純、真空熔煉、蒸鋁生產(chǎn)線大抽速真空機(jī)組。
凍干與真空干燥:大型凍干機(jī)、物料真空脫泡高真空系統(tǒng)。
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