目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>熱賣 Kashiyama樫山工業(yè)>>螺桿式真空泵>> SDE30N20KASHIYAMA樫山工業(yè)SDE系列 螺桿式真空泵
| 參考價(jià) | 面議 |
| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2026-05-30 15:46:53瀏覽次數(shù)：28評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,石油,能源,電子/電池,汽車及零部件 |
|---|
KASHIYAMA樫山工業(yè)SDE系列 螺桿式真空泵
KASHIYAMA樫山工業(yè)SDE系列 螺桿式真空泵
SDE 系列是樫山工業(yè)重型、大排量、高耐腐蝕螺桿式干式真空泵，主打半導(dǎo)體 / 顯示前道制程、大負(fù)載、高腐蝕、24/7 連續(xù)運(yùn)行場景，屬于旗艦級(jí)干泵。
SDE90X：1,300 L/min
SDE120TX：1,500 L/min
SDE200：3,300 L/min
SDE303X/TX：5,000 L/min
SDE603X/TX：10,000 L/min
SDE1203X/TX：20,000 L/min
SDE20N12TX：30,000 L/min
SDE30N20：50,000 L/min
SDE60N20：100,000 L/min
小型號(hào)（90X/120TX/200）：1.3 Pa
大型號(hào)（303X 及以上）：0.5 Pa
電源：三相 AC200–220V / 380–480V，50/60Hz
功耗（kW）：
SDE90X：1.3
SDE120TX：2.8
SDE200：2.7
SDE303X：1.5/3.0（標(biāo)準(zhǔn) / 變頻）
SDE603X：1.6/3.1
SDE1203TX：2.0/3.2
結(jié)構(gòu)：立式螺桿轉(zhuǎn)子，無油干式壓縮，全程無潤滑油
材質(zhì)：轉(zhuǎn)子 / 腔體不銹鋼 + 陶瓷涂層，耐 HCl、Cl?、HF 等腐蝕性氣體與粉塵
冷卻：風(fēng)冷 + 高效溫控，適應(yīng)高負(fù)載連續(xù)運(yùn)行
無油潔凈：無油，零油蒸氣污染，滿足半導(dǎo)體 Class 1 潔凈要求
強(qiáng)耐腐蝕：涂層 + 溫控，耐受刻蝕 / 沉積副產(chǎn)物、酸性氣體、粉塵
大排量 + 高真空：抽速覆蓋1,300–100,000 L/min，極限真空低至0.5 Pa
節(jié)能高效：變頻可選，比傳統(tǒng)干泵節(jié)能 20–30%
長壽命低維護(hù)：結(jié)構(gòu)堅(jiān)固，24/7 連續(xù)運(yùn)行，維護(hù)周期長
12 寸晶圓廠：刻蝕（Etch）、沉積（CVD/PVD）、清洗（Cleaning）、CMP 后干燥
優(yōu)良制程：7nm/5nm/3nm，對(duì)潔凈度、穩(wěn)定性、耐腐蝕要求
封裝測(cè)試：高真空吸附、等離子清洗、鍵合 / 封裝真空腔
大尺寸基板：G8.5/G10.5，鍍膜、蒸鍍、刻蝕、脫泡
OLED：有機(jī)層蒸鍍、腔體高真空維持，無油污染保障良品率
光伏：硅片鍍膜、電池片真空層壓、組件脫氣
鋰電池：極片真空干燥（露點(diǎn)≤-40℃）、注液、電芯封裝
精細(xì)化工：反應(yīng)釜真空、溶劑回收（VOCs）、蒸餾 / 精餾
制藥：凍干機(jī)（GMP）、無菌包裝、原料藥真空干燥
加速器、同步輻射、真空鍍膜、光學(xué)器件、高校 / 研究所高真空系統(tǒng)
小制程 / 小腔室：SDE90X/120TX（1,300–1,500 L/min）
中制程 / 標(biāo)準(zhǔn)腔室：SDE200/303X（3,300–5,000 L/min）
大制程 / 12 寸 / 大面板：SDE603X/1203TX（10,000–20,000 L/min）
超大排量 / 特殊工況：SDE20N12TX 及以上（30,000–100,000 L/min）
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
1
化工儀器網(wǎng)