目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>TAIKO大晃>> TRIC-3000日本TAIKO大晃TRIC系列單級(jí)螺桿干式真空泵
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更新時(shí)間：2026-06-22 13:51:09瀏覽次數(shù)：11評(píng)價(jià)
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| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣 |
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日本TAIKO大晃TRIC系列單級(jí)螺桿干式真空泵
日本TAIKO大晃TRIC系列單級(jí)螺桿干式真空泵
| 型號(hào) | 抽速 L/min (50/60Hz) | 極限真空 Pa | 電機(jī)功率 kW | 冷卻水量 L/min | 重量 kg |
|---|---|---|---|---|---|
| TRIC-3000 | 30,000/36,000 | ≤0.08 | 37+55 | 25 | 2,800 |
| TRIC-4500 | 45,000/54,000 | ≤0.08 | 55+75 | 35 | 3,800 |
| TRIC-6000 | 60,000/72,000 | ≤0.08 | 75+90 | 45 | 4,800 |
結(jié)構(gòu)：螺桿 + 羅茨集成機(jī)組（高真空大流量），非接觸 “蜂后螺桿"
轉(zhuǎn)速：1500/1800 rpm（低速低磨損）
材質(zhì)：球墨鑄鐵 + 耐磨涂層，可選 316 不銹鋼腔體
控制：高配智能 PLC + 觸摸屏，帶通訊與全保護(hù)
半導(dǎo)體：刻蝕、CVD、PVD 整線排氣、大型腔體
光伏：硅片拉晶爐集群、PECVD 大產(chǎn)能線
FPD：高世代玻璃基板制程
化工 / 鋰電：大型反應(yīng)釜、極片干燥線
TRIC：T = 干式，R = 羅茨增壓，I = 集成，C = 高真空
3000：60Hz 抽速約 3,000 m3/h
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
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