目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>TAIKO大晃>> RMC-6000進(jìn)口TAIKO大晃RMC系列單級(jí)螺桿干式真空泵
| 參考價(jià) | 面議 |
| 參考價(jià) | 面議 |
更新時(shí)間：2026-06-22 13:54:53瀏覽次數(shù)：11評(píng)價(jià)
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車(chē)及零部件,電氣 |
|---|
進(jìn)口TAIKO大晃RMC系列單級(jí)螺桿干式真空泵
進(jìn)口TAIKO大晃RMC系列單級(jí)螺桿干式真空泵
全稱(chēng)：Roots Mechanical Booster = 羅茨機(jī)械增壓器（不能單獨(dú)用，必須配大晃 TDP/BEH 干泵做前級(jí)）
結(jié)構(gòu)：羅茨轉(zhuǎn)子（增壓段）+ 螺桿干泵（前級(jí)段） 直聯(lián)集成，PLC 聯(lián)動(dòng)控制
作用：大幅提升抽速 + 提高極限真空 + 降低前級(jí)泵功耗，適合中高真空制程
| 型號(hào) | 抽速 L/min (50/60Hz) | 極限真空 Pa | 電機(jī)功率 kW（羅茨 + 干泵） | 重量 kg | 適配前級(jí) |
|---|---|---|---|---|---|
| RMC-3500 | 3,500/4,200 | ≤0.1 | 5.5+2.2 | 550 | TDP-3000 |
| RMC-6000 | 6,000/7,200 | ≤0.1 | 7.5+3.7 | 850 | TDP-6000/BEH-7000 |
| RMC-10000 | 10,000/12,000 | ≤0.1 | 15+5.5 | 1,300 | BEH-12000 |
| RMC-20000 | 20,000/24,000 | ≤0.1 | 30+11 | 2,100 | BEH-24000/30000 |
轉(zhuǎn)子：大晃蜂后螺桿（Queen Bee Screw），非接觸、低磨損、耐粉塵
轉(zhuǎn)速：羅茨 1500/1800 rpm + 螺桿 3000/3600 rpm，低速低噪
材質(zhì)：球墨鑄鐵 + 耐腐蝕涂層，可選 316 不銹鋼腔體
控制：智能 PLC + 觸摸屏，聯(lián)動(dòng)啟停、過(guò)載保護(hù)、氮?dú)獯祾呓涌?/p>
| 系列 | 類(lèi)型 | 抽速 L/min | 極限真空 Pa | 適用場(chǎng)景 |
|---|---|---|---|---|
| TDP | 單級(jí)螺桿干泵 | 3,000～12,000 | 0.13 | 通用、中真空、低成本 |
| RMC | 羅茨 + 螺桿增壓機(jī)組 | 3,500～20,000 | 0.1 | 中高真空、大流量、前端增壓 |
| BEH | 螺桿 + 羅茨集成干泵 | 7,000～30,000 | 0.08 | **半導(dǎo)體、FPD、大流量高真空 |
| TRIC | 大型螺桿 + 羅茨機(jī)組 | 30,000～60,000 | 0.08 | 超大腔體、半導(dǎo)體 / 光伏整線 |
刻蝕（Etching）：RMC-10000/20000 + BEH，快速抽氣 + 高真空，減少腔室等待時(shí)間
CVD/PVD 薄膜沉積：RMC-6000/10000 + TDP/BEH，穩(wěn)定 0.1 Pa 級(jí)真空，膜層均勻
離子注入：RMC-20000 + BEH-30000，大流量排氣 + 低粉塵殘留
晶圓脫氣 / 退火：RMC-3500/6000 + TDP，高效脫氣 + 低能耗
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
會(huì)員.png)
1
化工儀器網(wǎng)