目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>SIMCO思美高>> IONforce?J?500進口SIMCO思美高 Ionforce?J系列離子風棒
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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進口SIMCO思美高 Ionforce?J系列離子風棒
進口SIMCO思美高 Ionforce?J系列離子風棒
超薄扁形棒體，尺寸 25×29mm，鋁合金外殼，鎢合金放電針，纖細低矮，適配機臺狹小空間
IONforce?300、400、500、600、800、1000、1200、1500、2000、2400
發(fā)射極：鎢合金針，通用潔凈室
無吹氣 / 可選吹氣（后綴?A）
不銹鋼棒身，鈦 / 單晶硅發(fā)射針，全密封防塵設(shè)計，無重金屬析出，光刻、探針臺**
IONforce?J?300～2400
發(fā)射極：單晶硅 / 鈦針，超低粒子、無重金屬污染，ISO Class1 適用
密封性更強，耐 IPA 擦拭
ONforce?A?400、500、600、800、1000
接 CDA 潔凈干燥空氣 / 氮氣，延長維護周期
PFC 控制器：基礎(chǔ)款，直流 / 脈沖模式切換
visIONi 智能控制器：故障報警、針污染提醒、PLC/MES 信號輸出，** Fab 標配
PFC：基礎(chǔ)脈沖 / 直流切換
visIONi：故障報警、針污染提醒、遠程開關(guān)、PLC 信號輸出
放電模式：穩(wěn)態(tài) DC 直流 / Pulse 脈沖直流 可切換
供電控制器：PFC 控制器 /visIONi 智能控制器
離子平衡：＜±30V（常規(guī)）；＜±10V（脈沖模式）
除電速度：10kV→100V，＜10s@600mm；吹氣版＜5s
工作距離：50–1000mm，半導體推薦 100–300mm
臭氧含量：＜0.05ppm，極低不污染晶圓
棒體尺寸：超薄 25×29mm，低矮空間可裝
潔凈等級：ISO 14644?1 Class1?4
工作溫度：0–55℃
氣源（A 版）：CDA / 氮氣，0.1–0.4MPa
發(fā)射針：鎢針、單晶硅針、鈦針（易損件）
高壓線纜、絕緣套管、O 型圈
吹氣氣嘴、吹掃配件
陶瓷絕緣件、接地組件
PFC 控制器：AC90?240V，基礎(chǔ)供電，可切換直流 / 脈沖
visIONi 智能控制器：帶監(jiān)控報警，對接 MES/PLC，** Fab 標配
一拖多：單臺控制器可帶多根 IONforce 棒
鎢針（Tungsten）：耐用、性價比高 → 封測、后段制程
單晶硅針（Silicon）：零重金屬析出、超低微粒 → 晶圓前道、光刻、超潔凈區(qū)
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