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MTL編碼器：半導(dǎo)體納米制造的良率基石與精度保障
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低釋氣材料與無油潤滑設(shè)計： 杜絕污染物排放，適配超高真空（UHV）工況。
耐高溫： 特殊材料選型，可應(yīng)對光刻設(shè)備 80℃以上的 bake-out 工藝需求。
抗電磁干擾： PTFE 絕緣屏蔽線纜，確保信號在電磁干擾密集環(huán)境中零失真。
高精度定位： 內(nèi)置編碼器可達(dá) 1 角秒定位精度，20bit 高分辨率輸出。
晶圓檢測： 在 XY 軸控制中，定位誤差穩(wěn)定在 ±0.8μm 以內(nèi)，將缺陷漏判率從 0.3% 降至 0.08%。
晶圓搬運(yùn)： 超小型編碼器（如 φ21mm 的 MDS-13 系列）集成于機(jī)械臂關(guān)節(jié)電機(jī)，實現(xiàn) ±0.01mm 的升降定位精度，避免晶圓碰撞損傷。
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