Parker 202-FKASVCAA是派克（原 Porter 品牌）202 系列高性能模擬式氣體質(zhì)量流量控制器（MFC），專為高精度、高穩(wěn)定、快速響應(yīng)的工業(yè)氣體流量控制設(shè)計，廣泛用于半導(dǎo)體、實驗室、化工與分析儀器領(lǐng)域。

一、202-FKASVCAA型號與基本定位

系列：202 系列（模擬型），屬派克經(jīng)典 100/200 系列產(chǎn)品線

類型：氣體質(zhì)量流量控制器（MFC）（測量 + 控制一體）

介質(zhì)：專用氮氣（N?）（可兼容多數(shù)非腐蝕性工業(yè)氣體）

核心定位：高精度、快響應(yīng)、長穩(wěn)、抗干擾的模擬量閉環(huán)控制

二、PARKER流量控制器的核心功能與測量原理

層流差壓式測量

內(nèi)置精密層流元件（LFE），流量與壓差呈嚴(yán)格線性關(guān)系，測量穩(wěn)定、線性度高

溫度補償傳感器，不受溫度 / 壓力波動影響，保證全量程精度

閉環(huán)比例控制

內(nèi)置高速比例電磁閥，接收外部 0–5V/0–10V 或 4–20mA 設(shè)定信號

實時比較設(shè)定值與實測流量，自動調(diào)節(jié)閥門開度，穩(wěn)定在目標(biāo)流量

雙輸出：同時輸出流量測量信號（4–20mA / 0–5V） + 驅(qū)動控制

三、派克202-FKASVCAA關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)（FKASVCAA 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格）

流量量程：20 SLPM（N? 氮氣等效）（0–20 標(biāo)準(zhǔn)升 / 分鐘）

精度與線性：±1% FS（滿量程）

重復(fù)性：±0.2% FS

響應(yīng)時間：1–2 秒（90% 階躍 settling）

控制比（ turndown）：50:1（2%–100% FS 穩(wěn)定控制）

工作壓力：大 1000 PSIG（69 bar）（高壓工況適用）

工作溫度：-10°C ~ +70°C（環(huán)境）

供電：+15–30 VDC（典型 24V）

信號：

設(shè)定（Setpoint）：0–5V / 0–10V / 4–20mA

輸出（Monitor）：0–5V / 4–20mA

接頭：1/4" A-LOK®（不銹鋼卡套，防漏、抗震）

密封：Viton®（氟橡膠），耐油、耐多數(shù)氣體 / 溶劑

電氣接口：9 針 D-Sub（標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)連接器）

安裝：姿態(tài)不敏感（attitude insensitive），任意方向安裝不影響精度

四、PARKER流量控制器的核心功能優(yōu)勢

1. 超高精度與穩(wěn)定性

±1% 滿量程精度、±0.2% 重復(fù)性，適合精密配比、泄漏測試、分析儀器

低漂移：±0.05% FS/°C（溫漂），長期使用免頻繁校準(zhǔn)

2. 快速響應(yīng)與寬控制范圍

1–2 秒快速穩(wěn)定，適配動態(tài)工況、脈沖 / 變流量場景

50:1 控制比：2%–100% 全程精準(zhǔn)控制，低流量不抖動

3. 工業(yè)級耐用與抗干擾

全不銹鋼流路，耐腐蝕、潔凈、無吸附

高壓耐受 1000 PSIG，適配高壓供氣系統(tǒng)

IP 等級高、抗振動、EMC 抗干擾，適合工業(yè)現(xiàn)場

反接保護、過流保護，電氣安全

4. 模擬電路可靠（無數(shù)字死機風(fēng)險）

純模擬電路：無軟件、無死機、無通訊故障，環(huán)境更可靠

免預(yù)熱 / 短預(yù)熱（~10 分鐘），上電即用

5. 安裝與維護極簡

姿態(tài)不敏感：任意角度安裝，無需垂直 / 水平

A-LOK 卡套接頭：防漏、易拆裝、可重復(fù)使用

傳感器可更換，維護成本低、無需返廠

五、型號編碼解析（FKASVCAA）

F：流量范圍 20 SLPM（N?）

K：4–20mA 輸出（模擬）

A：0–5V 設(shè)定輸入

S：Viton 密封

V：1/4" A-LOK 接頭

C：9 針 D-Sub 連接器

AA：標(biāo)準(zhǔn)版本、常規(guī)響應(yīng)

六、典型應(yīng)用場景

半導(dǎo)體 / 光伏：氣相沉積、刻蝕、摻雜、氣體配比

實驗室 / 分析儀器：色譜、質(zhì)譜、反應(yīng)釜、環(huán)境模擬

工業(yè)爐 / 熱處理：保護氣（N?/Ar）精確控制

泄漏檢測、焊接保護氣、醫(yī)療設(shè)備、環(huán)保監(jiān)測

要求高可靠、快響應(yīng)的連續(xù)生產(chǎn)系統(tǒng)

七、與數(shù)字型 MFC 對比（優(yōu)勢）

更可靠：無 CPU、無固件、無通訊故障

更快響應(yīng)：模擬電路無計算延遲

更低成本：同精度下比數(shù)字款更經(jīng)濟

更易集成：直接兼容 PLC / 儀表 4–20mA/0–5V