薄膜厚度計(jì)可分為接觸式、非接觸式、截面觀察式三種類(lèi)型。

1.接觸式薄膜測(cè)厚儀

接觸式膜厚計(jì)通過(guò)電纜連接傳感器和測(cè)量?jī)x主體，使傳感器接觸被測(cè)物體來(lái)測(cè)量膜厚。接觸式膜厚計(jì)有電磁感應(yīng)式、

渦流式、超聲波式和觸針式三種類(lèi)型。這是傳統(tǒng)的膜厚計(jì)類(lèi)型，根據(jù)性能不同，售價(jià)在數(shù)萬(wàn)日元到20萬(wàn)日元之間。

接觸式涂層測(cè)厚儀使用方便；只需將傳感器放置在待測(cè)材料上，即可顯示讀數(shù)。然而，其反應(yīng)速度因材料而異，

因此您可能需要等待幾秒鐘才能讓傳感器做出反應(yīng)。使用電磁感應(yīng)和渦流接觸式涂層測(cè)厚儀時(shí)，

您需要根據(jù)待測(cè)材料的基材類(lèi)型選擇合適的型號(hào)。

電磁感應(yīng)式用于測(cè)量鐵、鋼等磁性材料，渦流式用于測(cè)量鋁、不銹鋼等非磁性材料。

此外，還有可同時(shí)測(cè)量?jī)煞N方法的雙通道型，其中雙通道型可同時(shí)測(cè)量磁性材料和非磁性材料。

2.非接觸式薄膜測(cè)厚儀

非接觸式薄膜測(cè)厚儀通過(guò)從測(cè)厚儀本體發(fā)射光線，檢測(cè)從薄膜表面反射的光與穿透薄膜的光的波長(zhǎng)干涉，

并以光譜的形式測(cè)量薄膜厚度。主要用于人眼難以觸及的場(chǎng)所，有反射光譜式、紅外線式、靜電電容式、

放射線式等。由于檢測(cè)部分使用高精度半導(dǎo)體元件，因此價(jià)格比接觸式更高。

3. 截面觀察型膜厚計(jì)

截面觀察型膜厚計(jì)是TEM、SEM等電子顯微鏡的升級(jí)版，用于測(cè)量接觸式或非接觸式無(wú)法測(cè)量的極小物質(zhì)。

然而，它們通常用于研究和技術(shù)開(kāi)發(fā)，在實(shí)際應(yīng)用中很少使用。