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增量式光柵尺技術(shù)：Nikon高度計高精度的核心秘密
增量式光柵尺技術(shù)：Nikon高度計高精度的核心秘密
Nikon MF-501高度計的核心測量基準來自高精度增量式光柵尺。
該光柵尺采用玻璃基體作為尺身材料，這種材料具有良好的尺寸穩(wěn)定性和確定的溫度特性，支持大測量范圍下的穩(wěn)定測量。
與傳統(tǒng)的磁性或容性測量基準相比，玻璃基增量式光柵尺對震動和機械沖擊不敏感，使其在帶有振動源的工業(yè)環(huán)境中仍然能夠保持良好測量性能。
光柵尺的掃描方式采用光電掃描原理，光源發(fā)出的光通過光柵尺的刻線后由光電元件接收，產(chǎn)生相位差為90度的兩路正弦波信號。
電子系統(tǒng)對這兩路信號進行高倍細分處理，可精確識別出納米級的微小位移變化，從而將原光柵刻線間距大幅細分，最終實現(xiàn)0.01μm級別的超高分辨率。
正是這一核心技術(shù)使Nikon DIGIMICRO系列能夠精準應(yīng)對化工領(lǐng)域中對薄膜厚度、涂層高度、精密器件尺寸等亞微米級別的苛刻測量要求。
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