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日本kokusan科庫森對向式離心干燥機(jī)H840SA的操作應(yīng)用
日本kokusan科庫森對向式離心干燥機(jī)H840SA的操作應(yīng)用
特點(diǎn)與用途
該設(shè)備在半導(dǎo)體行業(yè)中作為晶圓干燥設(shè)備有著良好的良好記錄。
離心力和氣流會(huì)清洗并排出工件。
搖籃由升降機(jī)構(gòu)自動(dòng)升起。
主要規(guī)格
電源 ：交流電200V 3φ 50/60Hz 15A
驅(qū)動(dòng)空氣： 0.5Mpa（5公斤/厘米）
允許載荷能力： 每個(gè)托盤的載重能力在2000克以內(nèi)
ULPA濾波器： 是的
離子器 ：是的
控制： PLC與逆變器
運(yùn)營部門 ：按鈕開關(guān)
轉(zhuǎn)速： 1000轉(zhuǎn)/分鐘（正常速度800轉(zhuǎn)/分鐘）
發(fā)動(dòng)機(jī)： 逆變電機(jī)
尺寸： 800（W）×990（D）×1004（H）毫米，蓋開時(shí)高度：1528（H）毫米
重量 ：180公斤
*我們還提供8英寸的設(shè)備、手動(dòng)機(jī)器和自動(dòng)機(jī)器。
歡迎隨時(shí)咨詢我們關(guān)于半導(dǎo)體以外的應(yīng)用。
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