日本本多HONDA W-357-1MQG-SKC 高頻石英振動體超聲波清洗機 簡介
這是日本本多電子半導體級高頻兆聲波清洗機,核心是單晶石英振動體,1MHz 高頻、低損傷、超高潔凈度,專門給晶圓 / 精密器件做微污染清洗,原裝全新,半導體產線常用。
一、核心參數(shù)
型號:W-357-1MQG-SKC(單晶石英振動)
振蕩頻率:1MHz(高頻兆聲波)
額定輸出:12W(功率可調)
振蕩模式:單頻振蕩,頻率穩(wěn)定度<0.1%
電源:AC100–240V,50/60Hz,300VA,全球通用
尺寸:180×250×100mm(不含突起)
重量:約 2.2kg,小巧好放
振動體:單晶石英,接液僅石英玻璃,無橡膠溶出
冷卻:氮氣冷卻振子,連續(xù)工作不飄頻、不升溫
適配液體:各類半導體清洗藥液(酸 / 堿 / 溶劑均可)
二、優(yōu)勢
1. 單晶石英 + 1MHz 高頻,微污染洗得巨干凈
1MHz 屬于兆聲波級別,比普通 40kHz 超聲波細得多,能洗掉0.1μm 級微顆粒(普通機搞不定)。
單晶石英振動體,能量傳導均勻、衰減小,整片晶圓清洗一致性好,邊緣 / 凹槽也能洗到。
只有石英玻璃碰藥液,無橡膠墊片 / 密封圈,杜絕溶出污染,半導體高潔凈場景剛需。
2. 低損傷!超薄 / 微結構晶圓不怕壞
高頻 + 軟空化,沖擊力極小,3nm 制程、超薄晶圓、微小線路都不會洗崩、洗裂。
對比傳統(tǒng)流水 / 浸泡清洗,化學品用量省很多,環(huán)保又降成本。
3. 穩(wěn)到能 24 小時連開,產線放心用
氮氣冷卻振子,長時間工作頻率不飄、溫度不升,良率穩(wěn)定。
數(shù)字定功率控制,電壓 / 溫度波動時輸出不變,清洗效果一致。
4. 操作簡單,數(shù)據(jù)可追溯
面板簡潔,功率 / 頻率一鍵設,開機自檢、故障報警,新手也能上手。
帶 RS-422A 接口,可連 PLC / 電腦,數(shù)據(jù)實時監(jiān)控、可導出,符合半導體產線追溯要求。
三、適用場景
半導體:硅晶圓、藍寶石襯底、CMP 后殘留、光刻膠 / 聚合物去除、柵電極清洗。
精密光學:鏡頭、濾光片、棱鏡、鍍膜元件(微顆粒 / 指紋清洗)。
電子:MEMS、傳感器、微型線路板、引線框架(低損傷除污)。
材料:超薄玻璃、陶瓷薄片、金屬箔(無腐蝕、無損傷清洗)。
四、日常維護
石英振動體:每次用完用超純水沖凈,軟布輕擦,避免硬物刮花。
冷卻系統(tǒng):定期檢查氮氣壓力,保證冷卻效果。
校準:建議每半年做一次頻率 / 功率校準,穩(wěn)定輸出。
存放:干燥無塵環(huán)境,長期不用斷電、蓋防塵罩。
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