USHIO閃光燈與鹵素燈在半導體熱處理中的應用

在半導體制造的熱處理環(huán)節(jié)，精準的溫控和高效的熱能傳輸是保證工藝一致性的關鍵。

USHIO提供的閃光燈和鹵素燈產品，為半導體熱制程提供了從紫外到紅外全波段的光學熱解決方案。

USHIO閃光燈采用脈沖氙燈光源，可對多種敏感基板進行高能量密度輻照，配合172nm波長的高準直光線，可用于微型精密電路的制造。

USHIO鹵素燈則廣泛應用于半導體晶圓加熱、快速熱退火及鍵合工藝中，通過將電能高效轉化為紅外輻射熱能，實現對半導體材料精準、均勻的加熱。

在光刻環(huán)節(jié)之外，USHIO的光源還可用于半導體可視化檢測和液流分布觀察等工業(yè)應用。

通過將傳統(tǒng)照明光源與智能成像技術結合，USHIO為半導體制造過程中的過程監(jiān)控和良率分析提供了新的技術手段。

憑借在特種光源領域深厚的技術積累，USHIO在功率半導體、光半導體、IC封裝基板等細分市場占據重要份額，是臺積電、三星、應用材料等國際半導體的核心光源供應商。