USHIO光學測量技術——紫外照度計與受光器探頭的精密測量方案

在半導體制造、紫外固化和精密光學檢測等領域，對紫外光能量的精準度量是保障工藝一致性、提升產品質量的核心前提。USHIO的UIT系列紫外積分照度計及受光器探頭，已成為工業(yè)界高精度光輻射測量的事實標準。

USHIO受光器的核心原理基于光電效應，通過前端光學透鏡聚焦以提高光收集效率并確定視場角，再由核心光敏半導體元件將光子能量激發(fā)為與光強成正比的微弱電流信號，完成光信號到電信號的高保真轉換。UIT-250系列主機作為數(shù)據(jù)顯示、記錄和控制的中央單元，通過更換不同受光器探頭可適應不同波長和安裝場景的測量需求，采用模塊化設計的探頭分為分體型（S）和一體型（C）兩類，分體型通過線纜連接適用于高溫、狹窄空間等惡劣環(huán)境。

該系列受光器采用特殊的紫外傳感元件和濾波片組合，紫外靈敏度劣化速度降至以往產品的十分之一，保證了長期測量穩(wěn)定性。主機功能支持實時照度、峰值照度、積分光量、照度分布乃至溫度分布的測量，內置存儲器可記錄長達4分鐘的連續(xù)數(shù)據(jù)，并通過串行通信實現(xiàn)PC端數(shù)據(jù)深度分析。從半導體光刻機曝光能量均勻性檢測，到UV LED固化工藝中照度實時監(jiān)測，USHIO受光器為化工與微納加工領域的紫外工藝提供了精準可靠的度量工具。