手機版
化工儀器網(wǎng)手機版
化工儀器網(wǎng)小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關(guān)注視頻號
日本 JFE FiDiCa S 系列膜厚分布測量裝置介紹
日本 JFE FiDiCa S 系列膜厚分布測量裝置，是專為半導(dǎo)體與薄膜工藝設(shè)計的量產(chǎn)級高速膜厚檢測設(shè)備，支持從薄膜到極厚膜的寬量程測量，適配從研發(fā)到缺陷檢查的全流程應(yīng)用。
系列包含三種核心型號，覆蓋不同膜厚需求：
薄膜型號：測量范圍 50nm~20μm，約 400 萬點 / 次，空間分辨率約 50~150μm。
厚膜型號：測量范圍 1μm~100μm，約 150 萬點 / 次，空間分辨率約 80~250μm。
極厚膜型號：測量范圍 20μm~800μm，約 100 萬點 / 次，空間分辨率約 100~300μm。
設(shè)備支持 4~12 英寸晶圓及 A4 尺寸樣品檢測，單晶圓測量速度控制在 2 分鐘以內(nèi)，高效完成全片掃描。重復(fù)再現(xiàn)性優(yōu)異，薄膜 / 厚膜型號 3σ<1.0nm（1μm SiO?膜條件下），極厚膜型號 3σ<10nm，確保數(shù)據(jù)穩(wěn)定性。裝置尺寸約 W810×D820~880×H2000 毫米，適配大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境部署。
裝置可檢測 SiO?膜、濺射膜、抗蝕劑、液膜、油膜、涂層膜等多種薄膜，以及晶圓、PET 薄膜、玻璃等基板材料的膜厚分布，通過直觀的彩色分布圖呈現(xiàn)膜厚均勻性，助力工藝優(yōu)化與缺陷分析。
憑借高速測量、多量程兼容、量產(chǎn)級適配與高精度數(shù)據(jù)輸出的優(yōu)勢，JFE FiDiCa S 系列成為半導(dǎo)體與薄膜工藝膜厚分布檢測的理想設(shè)備，助力企業(yè)提升生產(chǎn)效率與產(chǎn)品良率。
免責(zé)聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權(quán)等法律責(zé)任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
采購中心