在半導(dǎo)體、平板顯示及各類真空鍍膜產(chǎn)業(yè)中，生產(chǎn)節(jié)拍與設(shè)備利用率直接決定了產(chǎn)能與效益。負(fù)載鎖定室（Load Lock）的排氣時間往往是制約整線效率的關(guān)鍵瓶頸。日本ULVAC（愛發(fā)科）推出的LR90多級羅茨型干泵，正是為解決這一痛點而設(shè)計——通過創(chuàng)新的低溫均熱化技術(shù)，在確保清潔無油真空的同時，顯著縮短了負(fù)載鎖定室與PVD工藝的排氣時間，為制造提供了高效、可靠的真空獲得方案。

一、產(chǎn)品定位：LR系列的中堅力量

LR90隸屬于ULVAC的LR系列多級羅茨式干式真空泵。該系列專為負(fù)載鎖定室（Load Lock）排氣和物理氣相沉積（PVD）工藝而設(shè)計。

與同系列其他型號相比，LR90在抽速與體積之間取得了良好平衡，是該系列中的主力型號：

LR90的112 m3/h (50Hz) / 126 m3/h (60Hz) 的最大抽速，使其足以應(yīng)對中等規(guī)模的負(fù)載鎖定室和PVD腔體的快速排氣需求，是兼顧性能與成本的優(yōu)選方案。

二、核心技術(shù)特點

LR90的技術(shù)優(yōu)勢源于其對特定工藝需求的深度優(yōu)化與多項創(chuàng)新設(shè)計：

1. 低溫區(qū)域均熱化技術(shù)

LR系列的核心技術(shù)在于泵體低溫區(qū)域的均熱化。通過對泵體低溫區(qū)進(jìn)行均衡加熱（典型＜100℃），有效防止了工藝氣體在泵內(nèi)冷壁上的凝結(jié)。這一設(shè)計不僅保證了泵在PVD工藝中的穩(wěn)定運行，更使其尤其適用于需要縮短排氣時間以提高產(chǎn)能的負(fù)載鎖定室排氣場景。

值得注意的是：與LR系列的低溫均熱化不同，ULVAC的HR/UR系列則采用高溫均熱技術(shù)，利用壓縮熱將泵體整體保持在高溫狀態(tài)，專為CVD和蝕刻等會產(chǎn)生升華性副產(chǎn)物的硬工藝而設(shè)計。

2. 出色的氦氣密封與安全性

LR90搭載了屏蔽電動機（Canned Motor） ，形成了密閉的結(jié)構(gòu)。這一設(shè)計不僅實現(xiàn)了優(yōu)異的氦氣密封性能，杜絕了工藝氣體的泄漏，更從根本上提高了設(shè)備運行的安全性。

3. 瞬停對策與高可靠性

針對工廠電網(wǎng)可能出現(xiàn)的瞬間電壓波動，LR90采取了1000毫秒以內(nèi)的瞬停對策。這一設(shè)計確保了在短暫停電后泵能夠安全、自動地恢復(fù)運行，最大限度地減少了意外停機對生產(chǎn)造成的影響。

4. 出色的耐腐蝕性

為應(yīng)對PVD工藝中可能存在的腐蝕性氣體，LR90的主要零部件均經(jīng)過了表面硬度高、耐腐蝕性強的特殊表面處理。這有效降低了腐蝕性氣體對泵內(nèi)部的侵蝕，顯著延長了泵在嚴(yán)苛工藝條件下的使用壽命。

5. 智能通信功能

LR90配備了的通信功能，可實時讀取泵的運轉(zhuǎn)狀態(tài)數(shù)據(jù)、警告及報警履歷。通過使用專用軟件進(jìn)行計算機通信，可實現(xiàn)集中監(jiān)控，便于設(shè)備維護(hù)與故障預(yù)警。

三、詳細(xì)技術(shù)規(guī)格

四、典型應(yīng)用領(lǐng)域

LR90憑借其的抽速和針對性的低溫均熱設(shè)計，在以下場景中發(fā)揮著關(guān)鍵作用：

• 成膜裝置：作為濺射裝置、蒸鍍裝置等PVD設(shè)備的真空排氣核心。

• 負(fù)載鎖定室（Load Lock） ：縮短備料下料室的排氣時間，是提升整線產(chǎn)能的關(guān)鍵。

• 輔助排氣泵：作為渦輪分子泵、機械增壓泵的前級或輔助泵，構(gòu)建多級真空系統(tǒng)。

五、選型對比：LR系列與HR/UR系列

在ULVAC的多級羅茨干泵家族中，LR、HR、UR三個系列有著明確的定位分工：

結(jié)語

ULVAC愛發(fā)科LR90多級羅茨型干泵，憑借112 m3/h的有效抽速、創(chuàng)新的低溫均熱化技術(shù)以及針對負(fù)載鎖定室和PVD工藝的深度優(yōu)化，為半導(dǎo)體與平板顯示制造領(lǐng)域提供了一套高效、清潔、可靠的真空獲得方案。其無油運行消除了油污染風(fēng)險，出色的耐腐蝕性與瞬停對策保障了長期穩(wěn)定運行，而智能通信功能則賦能于 predictive maintenance。對于追求縮短排氣節(jié)拍、提升產(chǎn)能的PVD和負(fù)載鎖定室應(yīng)用而言，LR90無疑是一個兼具性能與可靠性的理想之選。