?? 工作原理

• 核心結構 ：設備內部由一個薄彈性膜片隔開為兩個腔室，分別是測量腔和參考腔。參考腔內有一個固定的電極，膜片與電極之間形成電容。
• 壓力測量 ：當待測氣體進入測量腔后，與參考腔之間形成壓力差，這會使彈性膜片產生微小的偏轉或形變。
• 電容變化 ：膜片的形變會改變它與固定電極之間的距離，進而引起電容量的變化。這個電容變化量與壓力差成正比。
• 信號輸出 ：內置的電子電路會將這種電容變化轉換成電信號（如電壓或電流），從而實時反映壓力值。其測量結果只與壓力有關，與被測氣體的種類無關。

?? 應用行業(yè)

• 半導體制造 ：這是其最主要的應用領域，高達80%。它在刻蝕、沉積、離子注入等需要高真空環(huán)境的設備中廣泛應用，為晶圓進腔、工藝啟停、腔體檢漏等提供關鍵參數依據。
• 光伏制造 ：在太陽能電池等光伏產品的生產過程中也有應用。
• 航空航天 ：用于需要高精度真空測量的場合。
• 核燃料制造 ：由于采用特殊合金材料（如Inconel合金）制成的膜片具有高抗腐蝕性，使其能在高腐蝕性氣氛下穩(wěn)定工作，因此也適用于核燃料制造領域。
• 蘇州昀控電子科技有限公司致力于開發(fā)精準、穩(wěn)定、快速、可重復性高的流體測量和控制產品，為客戶提供可持續(xù)性發(fā)展價值。主要產品有高精度電容薄膜真空計、高精度氣體質量流量控制器和高精度壓力控制器等，部分產品可適配或對標國外同類產品的應用場景。產品廣泛應用于航天航空、半導體、泛半導體、光伏、醫(yī)藥、化學工業(yè)、石油冶煉、電子器件等相關領域以及各大科研院校。憑借穩(wěn)定的性能和良好的客戶服務，產品贏得了市場的廣泛認可。