Sigma系列 蔡司 Sigma 360 8英寸晶圓全觀察解決方案
- 公司名稱 卡爾蔡司(上海)管理有限公司
- 品牌 ZEISS/蔡司
- 型號 Sigma系列
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2026/2/10 13:52:06
- 訪問次數(shù) 686
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[ 產品簡介 ]
蔡司場發(fā)射掃描電子顯微鏡 Sigma 360 緊貼國內市場需求,凝結本土創(chuàng)新能力,成功開發(fā) 8 英寸晶圓全尺寸觀察解決方案。無需大體積艙室,無碰撞風險,憑借高分辨成像能力與優(yōu)異低電壓表現(xiàn),可精準測量關鍵CD尺寸,排查全制程各類微觀缺陷,全面滿足半導體研究開發(fā)和生產制造的嚴苛要求,是半導體檢測領域可靠伙伴。

[ 產品特點 ]
ü “全” 視野:可觀察直徑由原來的155毫米(6英寸范圍)擴展至204毫米(8英寸全范圍)
ü “高”分辨:搭載Gemini鏡筒,助力關鍵尺寸測量,提供可靠數(shù)據(jù)支撐
ü “易”操作:極坐標軟件控樣臺,鼠標搞定復雜操作,無碰撞風險,高效安全
[ 應用領域 ]
ü 半導體:PMIC、IGBT、MEMS、汽車電子、CMOS 圖像傳感器等
[ 應用案例 ]

8英寸Wafer全視野光鏡導航圖,可提供全尺寸電鏡導航

晶圓上的光刻膠圖形結構。俯視可測量寬度間距等,傾斜可觀察并測量側壁信息

簡潔直觀的軟件界面

高分辨觀察孔洞圖形結構光刻膠

低電壓觀察傾斜后的光刻膠側壁細節(jié)




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