目錄:北京華丞電子有限公司>>氣路系統(tǒng)>> VCR氣路系統(tǒng)
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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創(chuàng)新點
在設(shè)備工藝管路中,實現(xiàn)了對流體的輸送、混合、調(diào)試、控制(包括開關(guān)、減壓、過濾、分流、流量控制等)。
設(shè)備工藝管路中氣體混合過程中的安全保障。
設(shè)備客戶工藝設(shè)計解決方案。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體—集成電路
半導(dǎo)體照明
清潔能源—光伏
特種工業(yè)—光纖
特種工業(yè)—真空鍍膜
生命科學(xué)—分析儀器
科學(xué)研究—實驗器材
技術(shù)指標
| 型號 | 標 準 |
| 零部件入庫檢查 | 形狀與尺寸與圖紙一致,實物型號與部件表的型號一直 |
| 安裝標準 | 各閥門儀表流向、安裝位置與圖紙要求一致,管道平整 |
| 保壓 | 12小時壓降≤1% |
| 漏率 | ≤1×10-10 Pa·m3/S |
| 焊接件標準 | 無明顯焊疤,焊接部位表面無傷痕、臟污、燒痕去除 |
| 焊道偏離范圍小于壁厚 20%以內(nèi)、焊道勻直、無明顯外凸內(nèi)凹及錯位現(xiàn)象 | |
| 外觀標準 | 外觀整潔,各部位無明顯磕傷 |
| 元器件標簽、接口方式等與圖紙一致 | |
| 目視檢查氣柜內(nèi)部有無腐蝕、霧化或變色等信息 |