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深圳市秋山貿(mào)易有限公司
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ESC 系列日本 PRA 靜電卡盤用高壓電源
| 參考價(jià) | ￥ 1321 |
| 訂貨量 | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 型號(hào) ESC 系列
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 所在地 深圳市
更新時(shí)間：2026-05-14 14:25:17瀏覽次數(shù)：113
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日本 PRA 靜電卡盤用高壓電源日本 PRA 靜電卡盤用高壓電源這款電源是日本 PRA 針對(duì)半導(dǎo)體制造中靜電卡盤（ESC）應(yīng)用開發(fā)的專用高壓電源，解決了傳統(tǒng)進(jìn)口 ESC 電源維修成本高、周期長的痛點(diǎn)，通過自主電路板設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了低成本、短交貨期、長壽命的穩(wěn)定輸出，是半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化替代的優(yōu)質(zhì)選擇。
半導(dǎo)體制造過程中，靜電卡盤（ESC）是固定硅晶圓的核心部件，其工作原理是通過高壓電源向卡盤電極施加電壓，使晶圓表面感應(yīng)電荷，依靠靜電吸附力實(shí)現(xiàn)固定。然而，等離子體工藝中晶圓表面會(huì)產(chǎn)生直流偏置，導(dǎo)致正負(fù)極吸附力不平衡，影響工藝穩(wěn)定性。PRA 的 ESC 電源采用雙極性輸出設(shè)計(jì)，通過中心端子施加補(bǔ)償偏置電壓，有效抵消等離子體引起的偏置影響，實(shí)現(xiàn)晶圓的均勻吸附，確保 PVD、CVD、蝕刻等工藝的穩(wěn)定進(jìn)行。
設(shè)備采用機(jī)架式設(shè)計(jì)，配備液晶顯示屏、多組狀態(tài)指示燈與控制旋鈕，支持電壓設(shè)定、極性切換、偏置調(diào)節(jié)等功能，可直觀監(jiān)控電源狀態(tài)并進(jìn)行參數(shù)調(diào)整。同時(shí)，電源內(nèi)置多重保護(hù)機(jī)制，能應(yīng)對(duì)等離子體工藝中的負(fù)載波動(dòng)，確保設(shè)備與晶圓的安全。相比傳統(tǒng)進(jìn)口電源，PRA 的 ESC 電源不僅降低了采購與維修成本，還大幅縮短了交貨周期，為半導(dǎo)體制造企業(yè)提供了可靠的替代方案，廣泛應(yīng)用于硅晶圓加工、液晶面板制造等場(chǎng)景。
核心性能與優(yōu)勢(shì)
雙極性輸出與偏置補(bǔ)償：支持雙極性高壓輸出，可施加補(bǔ)償偏置電壓，抵消等離子體引起的吸附不平衡，實(shí)現(xiàn)晶圓均勻吸附。
自主電路設(shè)計(jì)：采用自主研發(fā)的電路板設(shè)計(jì)，相比進(jìn)口電源，采購與維修成本更低，交貨周期更短，使用壽命更長。
直觀操作與監(jiān)控：配備液晶顯示屏、狀態(tài)指示燈與控制旋鈕，支持電壓設(shè)定、極性切換、偏置調(diào)節(jié)，便于工藝參數(shù)調(diào)整與狀態(tài)監(jiān)控。
高穩(wěn)定性與保護(hù)機(jī)制：內(nèi)置多重保護(hù)功能，可應(yīng)對(duì)等離子體工藝中的負(fù)載波動(dòng)，確保設(shè)備與晶圓的安全運(yùn)行。
典型應(yīng)用場(chǎng)景
半導(dǎo)體制造設(shè)備中的靜電卡盤（ESC）供電（PVD、CVD、蝕刻工藝）
硅晶圓、玻璃基板的真空吸附固定
液晶面板制造中的基板固定工藝
半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化替代項(xiàng)目
核心規(guī)格一覽
表格
| 項(xiàng)目 | 說明 |
|---|---|
| 輸出類型 | 雙極性高壓輸出，支持偏置電壓補(bǔ)償 |
| 控制功能 | 電壓設(shè)定、極性切換、偏置調(diào)節(jié)、狀態(tài)監(jiān)控 |
| 顯示與操作 | 液晶顯示屏、多組狀態(tài)指示燈、控制旋鈕 |
| 保護(hù)機(jī)制 | 內(nèi)置多重保護(hù)，應(yīng)對(duì)負(fù)載波動(dòng)與異常工況 |
| 適配工藝 | PVD、CVD、蝕刻等半導(dǎo)體制造工藝 |
| 應(yīng)用對(duì)象 | 硅晶圓、玻璃基板等半導(dǎo)體 / 顯示面板材料 |
