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深圳市秋山貿(mào)易有限公司
主營產(chǎn)品： 抹茶生產(chǎn)線,粉碎研磨珠,口紅硬度計 |
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13823147125
公司信息
- 聯(lián)系人：
- 譚女士
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- 13823147125
- 地址：
- 深圳市龍崗區(qū)龍崗街道新生社區(qū)新旺路和健云谷2棟B座1002
- 郵編：
- 個性化：
- www.cnakiyama.com
| 參考價 | ￥ 3333 |
| 訂貨量 | 1件 |
- 型號
- 品牌 其他品牌
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 所在地 深圳市
更新時間：2026-05-18 15:40:08瀏覽次數(shù)：102
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裝置采用真空排氣對應(yīng)型密封罩，可在 10Pa 以下真空環(huán)境中對 4~8 英寸晶圓及不定形芯片進行 FTIR 測量，解析晶圓內(nèi)的成分分布并進行各成分的定量分析。除 FTIR 基本功能外，通過真空下的晶圓內(nèi)部映射，可在短時間內(nèi)完成去除背景干擾的高精度測量，確保分析結(jié)果的準(zhǔn)確性。晶圓映射部門支持多種樣本尺寸，適配主流半導(dǎo)體晶圓規(guī)格；軟件配備自動映射功能，支持手動坐標(biāo)設(shè)置、R-θ 設(shè)置、X-Y（方形）設(shè)置，可靈活配置映射路徑，搭配標(biāo)準(zhǔn)解析軟件實現(xiàn)數(shù)據(jù)的自動化處理與分析。
核心性能與優(yōu)勢
真空環(huán)境測量：10Pa 以下真空度，消除水蒸氣、二氧化碳等背景干擾，提升分析精度。
晶圓成分分布解析：通過 FTIR 映射技術(shù)，實現(xiàn)晶圓內(nèi)成分分布的可視化與定量分析。
多尺寸樣本適配：支持 4~8 英寸晶圓及不定形芯片，覆蓋主流半導(dǎo)體制造規(guī)格。
靈活映射控制：支持多種坐標(biāo)設(shè)置方式，可定制映射路徑，適配不同分析需求。
自動化數(shù)據(jù)處理：自動映射軟件 + 標(biāo)準(zhǔn)解析軟件，簡化操作流程，提升分析效率。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體晶圓上沉積材料的成分分布與定量分析
薄膜材料在晶圓表面的均勻性檢測與表征
半導(dǎo)體制造工藝中的材料成分質(zhì)量控制
不定形芯片及特殊結(jié)構(gòu)樣品的紅外光譜分析
核心規(guī)格一覽
| 項目 | 規(guī)格說明 |
|---|---|
| 分析方式 | 真空環(huán)境下 FTIR 測量 + 晶圓映射分析 |
| 樣本尺寸 | 4~8 英寸晶圓及不定形芯片 |
| 真空度 | 10Pa 以下 |
| 硬件配置 | 真空排氣對應(yīng)型密封罩 |
| 軟件功能 | 自動映射軟件，支持多種坐標(biāo)設(shè)置與解析 |
