高濃度臭氧分析儀是專門用于測量ppm 級別及以上（通常>10ppm，最高可達(dá) 400g/m3）臭氧氣體濃度的精密儀器，主要應(yīng)用于工業(yè)過程控制、水處理、半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域，區(qū)別于環(huán)境監(jiān)測用的ppb級低濃度臭氧分析儀。

高濃度場景選擇紫外法，這是行業(yè)穩(wěn)定準(zhǔn)確的技術(shù)，解決了高濃度下傳統(tǒng)設(shè)備漂移大、過載易損壞的痛點(diǎn)。

典型應(yīng)用場景

水處理行業(yè)：自來水深度處理、污水處理、工業(yè)廢水氧化，監(jiān)測臭氧投加量和尾氣濃度。

半導(dǎo)體制造：干法清洗、光刻膠剝離，高濃度臭氧 (100-400g/m3) 用于去除晶圓表面有機(jī)物。

制藥/化工：GMP車間消毒、原料氧化反應(yīng)，確保消毒效果和工藝安全。

臭氧發(fā)生器：監(jiān)測發(fā)生器出口濃度，優(yōu)化產(chǎn)量和能耗，防止設(shè)備過載。

科研領(lǐng)域：臭氧氧化機(jī)理研究、材料耐臭氧測試，需要高精度連續(xù)測量。