一、球面和非球面測量機介紹：

非接觸式表面輪廓測量儀用于光學(xué)元件表面形狀和外形測量的非接觸式三維光學(xué)輪廓儀。它專為旋轉(zhuǎn)對稱表面的超精密非接觸式3D形狀測量而設(shè)計，例如非球面、球面、平面和自由曲面光學(xué)透鏡。非接觸式三維光學(xué)輪廓儀可對高偏差非球面和自由曲面等具有挑戰(zhàn)性的表面的半徑和不規(guī)則度進行最高精度的非接觸式三維輪廓測量。對非球面和自由曲面進行超高精度地快速輪廓測量，在高達90°的采樣斜率上精度優(yōu)于50nm (3σ) ?？蓽y量坡度高的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機鏡頭模具。

非接觸式3D表面精密檢測儀更適用于大口徑的精加工光學(xué)工件的檢測，用于對非球面透鏡、球面、平面和輕微自由曲面等旋轉(zhuǎn)對稱表面（光學(xué)器件）進行超高精密非接觸式三維表面形狀測量。其優(yōu)點包括測量速度快，對一些特殊的表面形狀（如平頂或帶有拐點的輪廓）具有高度靈活性。

二、球面和非球面測量機優(yōu)勢：

1、非接觸測量、三維微納形貌一體測量

◆ 集成厚度測量模組和三維形貌、粗糙度測量模組，使用一臺機器便可完成面輪廓、粗糙度、波紋度及三維形貌的測量。

2、高精度測量技術(shù)

◆ 采用高分辨率0.05nm的多波長白光干涉?zhèn)鞲衅鳎梢酝瓿沙呔艿臏y量。

◆ 基于所采用的FDM3傳感器技術(shù)的絕對測量能力，該計量儀器還可檢測非連續(xù)光學(xué)元件，例如分段表面、環(huán)形透鏡、非球面衍射透鏡以及軸錐透鏡。還可以擴展模塊可測定透鏡厚度、楔形誤差及偏心誤差。其軟件還可用于（全自動）分析光學(xué)表面相對于用戶定義參考表面的定位情況，例如透鏡周邊、任何透鏡卡口或模具筒體等。

3、操作簡單、輕松無憂

◆集成XYZ三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前準(zhǔn)備工作。

◆具備雙重防撞設(shè)計，避免誤操作導(dǎo)致的物鏡與待測物因碰撞而發(fā)生的損壞情況。

三、工作原理