目錄:中科艾科米（北京）科技有限公司>>分子束外延系統(tǒng)>> Epitara™ MBE SYSTEMEpitara™-4'' 分子束外延系統(tǒng)
Epitara™-4'' 分子束外延系統(tǒng)主要特點(diǎn) / MAIN FEATURE
●專為中大型尺寸樣品設(shè)計(jì)，可滿足從基礎(chǔ)研究到中試生產(chǎn)的多種實(shí)驗(yàn)需求
● 空間優(yōu)化設(shè)計(jì)，確保系統(tǒng)具備高效運(yùn)行與未來升級能力，方便實(shí)驗(yàn)室布局、安裝與后期維護(hù)
● 適配大型電子束蒸源，滿足多樣化樣品制備需求
● 擴(kuò)展性強(qiáng)，可與其他超高真空系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)互聯(lián)
● 集成控制系統(tǒng)簡化操作，支持程序預(yù)設(shè)，降低操作復(fù)雜度，提升實(shí)驗(yàn)可靠性和重復(fù)性
Epitara™-4'' 分子束外延系統(tǒng)技術(shù)參數(shù) / TECHNICAL DATA
| 生長單元 | 極限真空 | 優(yōu)于7×10-11mbar | ||||
| 腔體尺寸 | O.D. 550 mm（可定制） | |||||
| 冷屏及擋板 | 標(biāo)配 | |||||
| 源爐擋板類型及驅(qū)動(dòng)方式 | 集成/獨(dú)立，氣動(dòng)/手動(dòng) | |||||
| 蒸發(fā)源接口 | CF63×4+CF100×6/CF63×4+CF100×4+CF250×1（可定制） | |||||
| 烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
| 樣品臺(tái) | 襯底尺寸 | 兼容4inch及以下 | ||||
| 擋板驅(qū)動(dòng)方式 | 電動(dòng)/氣動(dòng) | |||||
| 加熱方式 | 熱輻射 | |||||
| 溫度范圍 | RT-800℃（K型熱偶） | |||||
| 制備單元 | 極限真空 | 優(yōu)于5×10-10mbar | ||||
| 烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
| 預(yù)留接口 | Sample manipulator （CF200×1） | |||||
| 進(jìn)樣單元 | 極限真空 | 優(yōu)于5×10-8mbar | ||||
| 存樣數(shù)量 | ≥6片 | |||||
| 烘烤溫度 | Max 150℃ | |||||
| 傳樣方式 | 手動(dòng) | |||||
| 控制單元 | 基礎(chǔ)配置 | 觸屏面板 | ||||
| 數(shù)據(jù)記錄 | ||||||
| 樣品臺(tái)控制 | ||||||
| 日志，系統(tǒng)管理 | ||||||
| 閥門自動(dòng)操作 | ||||||
| 可選配置 | 工藝生長軟件 | |||||
| 選配項(xiàng) | 緩沖單元 | 極限真空：優(yōu)于7×10-10mbar | ||||
| 烘烤溫度：Max150℃ | ||||||
| 預(yù)留接口：Sample transporter（CF200×1），Viewport（CF100×1） | ||||||
| 原位監(jiān)測 | QCM | |||||
| RGA | ||||||
| BFM | ||||||
| LEED | ||||||
| RHEED | ||||||
(空格分隔,最多3個(gè),單個(gè)標(biāo)簽最多10個(gè)字符)
員.png)
1
化工儀器網(wǎng)