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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
產(chǎn)品特點:
紅外鹵素?zé)艄芗訜?，冷卻采用風(fēng)冷
燈管功率 PID 控溫,可精準控制溫度升溫 ，保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性
大氣與真空處理方式均可選擇，進氣前氣體凈化處理
標配兩組工藝氣體，最多可擴展至 6 組工藝氣
采用平行氣路進氣方式，氣體的進入口設(shè)置在 Wafer 表面，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證產(chǎn)品良好 的溫度均勻性
技術(shù)參數(shù)：
最大產(chǎn)品尺寸最大處理 200×200mm，兼容8寸，及8寸以下wafe
腔體數(shù)量：單腔
腔體溫度監(jiān)控：＜70℃
溫度范圍：室溫~1250℃
溫度控制重復(fù)性：±2℃
恒溫持續(xù)時間：可依據(jù)要求編程
控溫區(qū)域：多組控溫區(qū)域，保證恒溫區(qū)溫度穩(wěn)定性
抽氣速率：500SLM
漏率：30mTorr/min
SCR 控溫區(qū)域:16 組控溫區(qū)
降溫速度:約 200℃/min(1000~400℃) 不可編程
持溫時間:可依據(jù)制程需求設(shè)定持溫時間
燈管電流精度:≤±0.1amp
燈管:平均 1500 小時以上使用壽命，上下兩面同時加熱
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