澤攸科技臺(tái)階儀JS100C

產(chǎn)品介紹

澤攸科技半自動(dòng)臺(tái)階儀JS100C是高精度測(cè)量設(shè)備，打破了國(guó)外技術(shù)壟斷，適用于半導(dǎo)體制造中的國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程。該設(shè)備采用一體花崗巖結(jié)構(gòu)，確保測(cè)量的穩(wěn)定性與可靠性。配備兩個(gè)彩色攝像頭，可無畸變地觀察樣品和針尖，實(shí)現(xiàn)特征區(qū)域精確定位。JS100C具備厚度、粗糙度、翹曲度及薄膜應(yīng)力測(cè)量功能，并支持3D掃描成像和多點(diǎn)掃描應(yīng)用，廣泛應(yīng)用于刻蝕、沉積、薄膜等領(lǐng)域。

• 刻蝕、沉積和薄膜等厚度測(cè)量

• 薄膜多晶硅等粗糙度、翹曲度等材料表面參數(shù)測(cè)量

• 各式薄膜應(yīng)力測(cè)量

• 3D掃描成像

• 計(jì)劃任務(wù)和多點(diǎn)掃描

應(yīng)用領(lǐng)域

產(chǎn)品組成

突破三大核心技術(shù)

產(chǎn)品特色

關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)

案例應(yīng)用

18nm樣品

68um樣品