產(chǎn)品概要

E系列增強(qiáng)型手動探針臺是一款功能進(jìn)階級探針臺，能實(shí)現(xiàn) 1μm 以上的電極 Pad 測試，工效學(xué)設(shè)計(jì)簡單易操作，靈活的UPStart™ 模塊化設(shè)計(jì)，客戶可通過的成本升級更多的測試功能，如：毫米波 mmW，F(xiàn)A、MEMS、WLR 和光電等測試。

E系列增強(qiáng)型手動探針臺應(yīng)用方向

LD/LED/PD的光強(qiáng)/波長測試、晶圓二極管、三極管測試、PCB元器件測試、材料/器件的IV/CV特性測試、、功率器件測試、MEMS器件測試、射頻測試等

技術(shù)特點(diǎn)

POMater™ 自適應(yīng)隔震底座

自適應(yīng)減震底座設(shè)計(jì)，德國進(jìn)口隔震材料增強(qiáng)彈性支撐，實(shí)現(xiàn)不同程度的剛性硬度和承載范圍，并有效過濾環(huán)境中的震動源干擾，確保探針末端和樣品的Pad穩(wěn)定接觸，提升測試的穩(wěn)定性。

卡盤可升降調(diào)節(jié)

卡盤可微調(diào)升降，行程 5mm，精度 10μm，便于樣品快速分離探針。

顯微鏡氣動式快速升降

顯微鏡氣動式快速升降，便于更換顯微鏡和探針卡夾具。

大尺寸機(jī)臺設(shè)計(jì)

大尺寸機(jī)身結(jié)構(gòu)，增強(qiáng)操作舒適度。更大空間的針座平臺，支持 加載針卡，提升點(diǎn)針測試效率。

機(jī)臺定制應(yīng)用案例

1、石英樣品臺6英寸，玻璃樣品臺卡在不銹鋼上，不銹鋼卡盤通過立柱固定在X-Y平移臺上部 2、玻璃樣品臺采用高透紫外線玻璃，透光波長單位200nm-1100nm透光率85%以上，樣品固定方式采用彈片固定 3、兩個樣品臺可以拆卸使用

產(chǎn)品結(jié)構(gòu)