產(chǎn)品特性 / Product characteristics

• Loadlock式，自動運行，操作簡單

• 成膜面積大，均勻性好

• T/S距離60～180mm可調(diào)，適用廣

• 可換托盤式，基板尺寸切換簡便

• 2～8inch，方片，未定型片，切換兼容

• 向上濺射，向下濺射可選，顆粒抑制

產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

• 半導(dǎo)體，LED，電力電子，高校及研究所等。

產(chǎn)品特性 / Product characteristics

• Loadlock式，自動運行，操作簡單

• 成膜面積大，均勻性好

• T/S距離60～180mm可調(diào)，適用廣

• 可換托盤式，基板尺寸切換簡便

• 2～8inch，方片，未定型片，切換兼容

• 向上濺射，向下濺射可選，顆粒抑制

產(chǎn)品應(yīng)用 / Product application

• 半導(dǎo)體，LED，電力電子，高校及研究所等。