美國(guó) entegris 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器   MAX-1000

這些在線氣體過(guò)濾器采用 由 PFA 結(jié)構(gòu)和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜， 在超純氣體應(yīng)用中提供 卓的越的顆粒過(guò)濾。

1.過(guò)濾面積大，過(guò)濾效率提高 3 倍，壓降低，流量大

2.與當(dāng)前過(guò)濾器相同的長(zhǎng)度尺寸允許輕松實(shí)施，而無(wú)需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。

3.過(guò)濾器使用壽命延長(zhǎng)，比上一代長(zhǎng) 3 倍

Wafergard® MAX-1000 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用

1.SiCl 4、GeCL 4和 POCl 3的過(guò)濾

2.石英玻璃應(yīng)用

3.光纖應(yīng)用

美國(guó) entegris 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器   MAX-1000

這些在線氣體過(guò)濾器采用 由 PFA 結(jié)構(gòu)和 316L 不銹鋼外殼支撐的 PTFE 膜， 在超純氣體應(yīng)用中提供 卓的越的顆粒過(guò)濾。

1.過(guò)濾面積大，過(guò)濾效率提高 3 倍，壓降低，流量大

2.與當(dāng)前過(guò)濾器相同的長(zhǎng)度尺寸允許輕松實(shí)施，而無(wú)需更改氣體面板或輸送系統(tǒng)的設(shè)計(jì)。

3.過(guò)濾器使用壽命延長(zhǎng)，比上一代長(zhǎng) 3 倍

Wafergard® MAX-1000 在線 PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用

1.SiCl 4、GeCL 4和 POCl 3的過(guò)濾

2.石英玻璃應(yīng)用

3.光纖應(yīng)用