▍產(chǎn)品簡介

藝微勝SCP-12LD桌上型旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)，是專為半導(dǎo)體、光電及精密制造領(lǐng)域設(shè)計(jì)的一款高性能設(shè)備，支持12英寸硅片及大尺寸基板的涂布、光刻膠處理與表面處理工藝。該設(shè)備采用高精度伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，配合PLC智能控制，能高效完成精密的涂布任務(wù)，適用于光刻、感光涂料涂布等高精度工藝要求。整機(jī)采用堅(jiān)固的不銹鋼外殼與PTFE盆罩，保證設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行且易于清潔，確保工作過程中的高效與安全。

設(shè)備提供了手動(dòng)噴涂及精確的配方設(shè)置功能，配備了真空負(fù)壓檢測(cè)和保護(hù)系統(tǒng)，能夠有效預(yù)防飛片風(fēng)險(xiǎn)，確保生產(chǎn)的穩(wěn)定性與安全性。操作界面為7寸觸摸屏，簡單易用，適合實(shí)驗(yàn)室與中高規(guī)模生產(chǎn)的需求。

▍技術(shù)特點(diǎn)

1.大尺寸基板支持

專為12英寸硅片和大尺寸基板設(shè)計(jì)，滿足大規(guī)模半導(dǎo)體和光電工藝的精密涂布需求。

2.高精度伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

支持20-5000轉(zhuǎn)/分鐘的轉(zhuǎn)速范圍，精度達(dá)±1rpm，確保涂布過程中的均勻性與穩(wěn)定性。

3.智能PLC控制系統(tǒng)

配備PLC系統(tǒng)與觸摸屏操作界面，支持50組配方設(shè)置，每組最多可設(shè)定20個(gè)操作步驟，簡化操作與參數(shù)管理。

4.安全與保護(hù)設(shè)計(jì)

配有真空負(fù)壓檢測(cè)、下限保護(hù)和間接防護(hù)設(shè)計(jì)，有效減少設(shè)備損壞和飛片風(fēng)險(xiǎn)，保障生產(chǎn)穩(wěn)定性。

5.易清潔和維護(hù)

使用不銹鋼與PTFE材料，表面不易吸附顆粒，便于日常清潔與維護(hù)，保證設(shè)備長期高效運(yùn)行。

6.可調(diào)噴涂功能

手動(dòng)噴涂裝置，靈活可調(diào)，滿足不同涂布要求，確保每次涂布精度與一致性。

▍技術(shù)參數(shù)

▍典型應(yīng)用

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池和光電器件領(lǐng)域，特別適合大尺寸硅片光刻膠涂布、感光涂料均勻涂布及精密化學(xué)處理。該設(shè)備提供高效、精準(zhǔn)的涂布解決方案，優(yōu)化生產(chǎn)工藝、提升產(chǎn)品質(zhì)量并減少材料浪費(fèi)。針對(duì)高精度、高穩(wěn)定性及大尺寸基板處理需求，它是理想之選，為半導(dǎo)體制造及相關(guān)行業(yè)提供*技術(shù)支持，推動(dòng)精密制造的創(chuàng)新發(fā)展。