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EV?A10?2S（EBARA 荏原 空冷式多段羅茨干真空泵）產(chǎn)品詳情玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨直發(fā)
EV?A10?2S 是日本荏原（EBARA）EV?A10 系列里的單相 200V、風(fēng)冷、無(wú)油干式真空泵 ，主打潔凈真空、無(wú)需水冷、低能耗、高水蒸氣處理能力，廣泛用于半導(dǎo)體、制藥、化工、實(shí)驗(yàn)室分析設(shè)備。
一、基本信息
型號(hào)：EV?A10?2S（標(biāo)準(zhǔn)單相 200V 版本）
廠商：日本 EBARA 荏原制作所
類(lèi)型：空冷式多段羅茨干式真空泵（無(wú)油）
應(yīng)用定位：中小腔體、潔凈工藝、重復(fù)大氣抽氣場(chǎng)景
二、核心性能參數(shù)（規(guī)格）
1. 真空性能
最大抽速：1,000 L/min（50Hz）
大氣壓下抽速：800 L/min
極限壓力（氣鎮(zhèn)關(guān)）：1.0 Pa
極限壓力（氣鎮(zhèn)開(kāi)）：2.0–3.0 Pa
最大水蒸氣泵送能力：500 g/h（氣鎮(zhèn)開(kāi)）
進(jìn)氣壓力范圍：0～大氣壓
2. 電氣與能耗
電源：?jiǎn)蜗?200–240V / 50/60Hz（EV?A10?2S）
允許電壓波動(dòng)：±10%
電源容量：3.0 kVA
極限壓力下功率：約 1.1 kW（比同級(jí)低約 20%）
電機(jī)：DC 電機(jī) + 智能怠速 / 休眠
3. 機(jī)械與接口
進(jìn)氣口：NW40（KF40）
排氣口：NW25（KF25）
材質(zhì)：泵體鑄鐵 + 合金鋼，轉(zhuǎn)子涂層耐腐蝕
重量：約 72–75 kg
尺寸（長(zhǎng) × 寬 × 高）：約 560×320×450 mm
腳輪：標(biāo)配 4 個(gè)可鎖定調(diào)平腳輪
4. 冷卻與噪音
冷卻方式：空冷（無(wú)需冷卻水）
噪音：≤58 dB(A)（@1m）
工作溫度：環(huán)境 5–40℃
三、結(jié)構(gòu)與特點(diǎn)
- 無(wú)油干泵設(shè)計(jì)
全程無(wú)油，無(wú)油污染、無(wú)返油，滿足高潔凈工藝（半導(dǎo)體、制藥凍干、無(wú)菌隔離器）
可處理輕微腐蝕性、含少量顆粒、易燃易爆氣體
- 多段羅茨 + 空冷
多級(jí)羅茨轉(zhuǎn)子，抽氣平穩(wěn)、極限真空高、耐水蒸氣
空冷結(jié)構(gòu)，無(wú)需水冷 / 水管 / 冷卻塔，安裝極簡(jiǎn)、無(wú)漏水風(fēng)險(xiǎn)
- 智能控制與保護(hù)
內(nèi)置故障診斷 / 過(guò)熱 / 過(guò)流 / 相序保護(hù)
支持遠(yuǎn)程啟停 / 報(bào)警信號(hào)（可選）
維護(hù)周期長(zhǎng)：無(wú)需換油，僅定期清潔過(guò)濾器
- 高水汽處理
標(biāo)配大氣鎮(zhèn)閥，500 g/h 水蒸氣能力，適合凍干、蒸餾、溶劑脫除
四、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體：Load?lock、SEM、PVD、分析儀器
制藥：凍干機(jī)、無(wú)菌隔離器、真空干燥
化工：小試 / 中試蒸餾、脫泡、溶劑回收
實(shí)驗(yàn)室：電子顯微鏡、質(zhì)譜、真空鍍膜、手套箱
五、型號(hào)后綴說(shuō)明（便于選型）
EV?A10?2S：單相 200V，標(biāo)準(zhǔn)型（國(guó)內(nèi)常用）
EV?A10?3S：三相 200V
EV?A10?1S：?jiǎn)蜗?100V（日本本土）
六、優(yōu)勢(shì)總結(jié)
? 無(wú)油潔凈：絕對(duì)無(wú)油污染，適配高潔凈工藝
? 空冷免水：無(wú)需冷卻水，安裝簡(jiǎn)單、運(yùn)維成本低
? 高效節(jié)能：1.1kW 低功耗，比同類(lèi)省 20%+
? 高抽速 + 高真空：1000L/min、極限 1Pa，性能強(qiáng)勁
? 強(qiáng)耐水汽：500g/h，含水工況穩(wěn)定
七、采購(gòu)渠道
玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司 原裝現(xiàn)貨供應(yīng)
地址：廣東省深圳市龍華新區(qū)龍華街道906號(hào)電商集團(tuán)7樓整層玉崎科學(xué)
項(xiàng)目負(fù)責(zé)人：林經(jīng)理
