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HEIDENHAIN/德國海德漢
經(jīng)銷商
上海市
更新時間:2026-06-03 13:32:57瀏覽次數(shù):68次
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HEIDENHAIN直線光柵尺傳感器LIP200系列
LIP 200 外露式直線光柵尺采用干涉掃描技術(shù),其測量基準(zhǔn)為微晶玻璃刻度載體上的相位光柵。這類直線光柵尺兼具極小的測量步距與ji高的移動速度。LIP 200系列直線編碼器配備了優(yōu)化的掃描電子元件和高透光率的光柵結(jié)構(gòu),具備出色的速度與位置穩(wěn)定性。
LIP 200 系列不僅精度高,還具備極快的移動速度。其最小測量步距可達(dá) 31.25 皮米,最大移動速度達(dá) 180 米/分鐘,是長度達(dá)三米的高動態(tài)精密應(yīng)用場景的理想編碼器。得益于極短的信號周期和高分辨率,LIP 200 編碼器非常適用于高精度應(yīng)用場景。對于這類高精度編碼器而言,其安裝公差異乎尋常地寬松,安裝操作十分便捷。
核心技術(shù)特點(diǎn)
1. 測量原理與基準(zhǔn)
干涉掃描:利用光的干涉現(xiàn)象實(shí)現(xiàn)納米級精度測量,信號周期僅2.048
DIADUR 相位光柵:高精度刻線技術(shù),確保長期測量穩(wěn)定性
2. 性能極限
最小測量步距:低至31.25 皮米(通過 EnDat 2.2/3 接口實(shí)現(xiàn))
最高運(yùn)動速度:180m/min (3m/s),兼顧高精度與高動態(tài)
精度等級:±1μm、±3μm(標(biāo)準(zhǔn)),可選更高精度型號
測量長度:20mm~3040mm(最長可達(dá) 3 米)
3. 安裝與使用優(yōu)勢
寬大安裝公差:間距變化 ±0.2mm,滾動 / 俯仰 ±5mrad,安裝簡便
內(nèi)置參考點(diǎn):精確光學(xué)參考點(diǎn),用于建立絕對原點(diǎn)位置
信號輸出:標(biāo)準(zhǔn) 1Vpp 正弦信號,可選 TTL 方波,支持 EnDat 2.2、EnDat 3、DRIVE-CLiQ 等數(shù)字接口
主要型號與區(qū)別
型號 | 核心差異 | 適用場景 |
LIP 211 | 標(biāo)準(zhǔn)型,單參考點(diǎn) | 通用超精密機(jī)床、測量設(shè)備 |
LIP 291 | 多參考點(diǎn)(最大 5 個) | 需要頻繁建立絕對位置的自動化設(shè)備 |
LIP 200 系列變種 | 真空兼容型、長行程型 | 半導(dǎo)體制造、真空環(huán)境應(yīng)用 |
HEIDENHAIN直線光柵尺傳感器LIP200系列
關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)表
參數(shù)類別 | 具體數(shù)值 |
測量基準(zhǔn) | DIADUR 相位光柵,2.048μm 周期 |
尺身材質(zhì) | Zerodur 玻璃陶瓷 |
熱膨脹系數(shù) | 0.1×10??K?1 |
精度等級 | ±1μm, ±3μm |
測量長度范圍 | 20mm~3040mm |
最大速度 | 180m/min (3m/s) |
最小測量步距 | 31.25pm (EnDat 接口) |
輸出信號 | 1Vpp 正弦信號(A, B, sin, cos) |
參考點(diǎn) | 單參考點(diǎn) (LIP211) 或多參考點(diǎn) (LIP291) |
安裝公差 | 間距 ±0.2mm,滾動 / 俯仰 ±5mrad |
工作溫度 | 0°C~40°C(標(biāo)準(zhǔn)),可選擴(kuò)展溫度范圍 |
典型應(yīng)用場景
超精密機(jī)床:金剛石車床、光學(xué)元件加工設(shè)備、磁存儲盤加工機(jī)床
半導(dǎo)體與電子制造:晶圓光刻機(jī)、PCB 電路板組裝機(jī)、半導(dǎo)體檢測設(shè)備
高精度測量儀器:三坐標(biāo)測量機(jī)、光學(xué)比較儀、激光干涉儀配套
科研設(shè)備:納米定位平臺、同步輻射裝置、天文望遠(yuǎn)鏡定位系統(tǒng)
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