高精度Hexapods

JKZC系列 高精度六自由度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)可實(shí)現(xiàn)多自由度運(yùn)動(dòng)，動(dòng)態(tài)范圍大，承載大，穩(wěn)定性強(qiáng)，任意指定轉(zhuǎn)動(dòng)中心，可滿足各種工業(yè)需求，適應(yīng)大氣和真空環(huán)境。廣泛應(yīng)用于顯微操縱、生物技術(shù)、半導(dǎo)體制造等。

1、典型應(yīng)用

半導(dǎo)體封測

主動(dòng)光學(xué)

生物技術(shù)

視覺裝配

顯微操縱

光纖校準(zhǔn)

2、技術(shù)特點(diǎn)

亞納米級(jí)定位穩(wěn)定性

納米級(jí)閉環(huán)運(yùn)動(dòng)分辨力

無摩擦柔性鉸鏈導(dǎo)向

大負(fù)載

空間多自由度

各級(jí)真空兼容性

3、2D尺寸圖

4、規(guī)格參數(shù)

5、適配控制器