產(chǎn)品概述

LEXT顯微鏡物鏡可提供高度準(zhǔn)確的測(cè)量數(shù)據(jù)。 與Smart Lens Advisor（智能鏡頭顧問(wèn)）配合使用，可以獲得值得信賴的準(zhǔn)確數(shù)據(jù)。

• 有保證的測(cè)量準(zhǔn)確度

• 10倍至100倍物鏡可減少405 nm波長(zhǎng)的像差，在整個(gè)視場(chǎng)中捕捉樣品的真實(shí)形貌。

• Smart Lens Advisor（智能鏡頭顧問(wèn)）有助于為粗糙度測(cè)量選擇合適的物鏡

通過(guò)精心設(shè)計(jì)的軟件，新手和有經(jīng)驗(yàn)的用戶都可以輕松使用顯微鏡。

• 輕松獲取準(zhǔn)確數(shù)據(jù)：將樣品放在載物臺(tái)上，然后按下“開(kāi)始"按鈕即可

• 在客戶的實(shí)驗(yàn)環(huán)境下也能提供有保證的測(cè)試結(jié)果。

智能實(shí)驗(yàn)管理器可將以前耗時(shí)的任務(wù)自動(dòng)化，使亞微米級(jí)3D觀察和失效分析實(shí)驗(yàn)工作流程變得更加簡(jiǎn)單。

• 利用宏功能實(shí)現(xiàn)分析工作流程的自動(dòng)化

• 測(cè)量數(shù)據(jù)易于整理

• 將數(shù)據(jù)自動(dòng)填充到實(shí)驗(yàn)計(jì)劃矩陣中，減少了輸入錯(cuò)誤的幾率

• 測(cè)量結(jié)果以列表形式顯示，一眼就能做出通過(guò)/不通過(guò)的判斷。

優(yōu)勢(shì)特性

• 智能掃描II

無(wú)論是經(jīng)驗(yàn)豐富的用戶還是新手，都能使用Smart Scan II（智能掃描II）功能快速輕松地獲取數(shù)據(jù)。只需將樣品放在載物臺(tái)上，按下啟動(dòng)按鈕即可，剩下的工作就由顯微鏡完成。

• PEAK算法：奧林巴斯OLS5100激光共聚焦顯微鏡采用PEAK算法構(gòu)建3D數(shù)據(jù)。該算法可獲得從低倍率到高倍率的高精度數(shù)據(jù)，并可縮短數(shù)據(jù)采集時(shí)間。

• 跳過(guò)不必要的掃描：在測(cè)量包含幾乎垂直平面的樣品（如電子元件或MEMS）的臺(tái)階形貌時(shí)，可以通過(guò)跳過(guò)Z軸方向上不必要的掃描范圍來(lái)減少數(shù)據(jù)采集時(shí)間。使用MPLAPON50XLEXT物鏡時(shí)，約10秒鐘就可完成對(duì)100 μm臺(tái)階的測(cè)量，且準(zhǔn)確度不會(huì)降低。

• 準(zhǔn)確的形貌數(shù)據(jù)：奧林巴斯OLS5100激光共聚焦顯微鏡的自動(dòng)判斷系統(tǒng)可根據(jù)每個(gè)樣品的要求進(jìn)行調(diào)整，而HDR掃描則可通過(guò)改變探測(cè)靈敏度來(lái)獲取兩組形貌信息，以構(gòu)建準(zhǔn)確的形貌數(shù)據(jù)。

• 準(zhǔn)確度和可重復(fù)性均有保證

測(cè)量工具的性能通常用準(zhǔn)確度和可重復(fù)性來(lái)表示，準(zhǔn)確度表明測(cè)量值與真實(shí)值的接近程度，可重復(fù)性表明重復(fù)測(cè)量值的變化程度。我們保證顯微鏡基于可追溯系統(tǒng)的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性，讓您對(duì)測(cè)量結(jié)果充滿信心。

• 視場(chǎng)之外的表面測(cè)量

OLS5100顯微鏡的電動(dòng)載物臺(tái)上裝有長(zhǎng)度測(cè)量模塊，可以保證拼接圖像數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。以前的激光顯微鏡根據(jù)圖案匹配拼接數(shù)據(jù)，而OLS5100顯微鏡將從長(zhǎng)度測(cè)量模塊獲得的位置信息添加到圖案匹配中，以提供具有很高可靠性的拼接數(shù)據(jù)，并保證準(zhǔn)確度。

• 連續(xù)自動(dòng)對(duì)焦

在移動(dòng)載物臺(tái)或更換物鏡時(shí)，顯微鏡的連續(xù)自動(dòng)對(duì)焦功能可保持圖像的對(duì)焦?fàn)顟B(tài)，大幅減少了手動(dòng)調(diào)整的需要。持續(xù)焦點(diǎn)跟蹤功能可使您快速輕松地進(jìn)行觀察。

• 用于納米級(jí)實(shí)時(shí)觀察的雙重微分干涉（DIC）

通過(guò)實(shí)時(shí)的納米級(jí)觀察，檢測(cè)樣品中的微小損傷。微分干涉（DIC）觀察可使您觀測(cè)到激光顯微鏡通常無(wú)法分辨的納米級(jí)表面輪廓。借助DIC激光模式，就是使用5倍或10倍的低倍率物鏡，OLS5100顯微鏡也可以獲得與電子顯微鏡相當(dāng)?shù)膶?shí)時(shí)圖像。

• 符合ISO25178標(biāo)準(zhǔn)的表面粗糙度測(cè)量

OLS5100顯微鏡使用0.4μm直徑的激光束掃描樣品表面，能夠輕松測(cè)量接觸式表面粗糙度儀無(wú)法測(cè)量的樣品表面粗糙度。 同時(shí)還可以獲取接觸式表面粗糙度儀無(wú)法獲得的表面彩色圖像、激光圖像和3D形貌數(shù)據(jù)，使得更多分析功能得以實(shí)現(xiàn)。

• 輪廓測(cè)量/測(cè)量輔助工具

輪廓測(cè)量功能通過(guò)在圖像中的待測(cè)位置上任意繪制測(cè)量線的方式顯示表面輪廓。它還可以測(cè)量任意兩個(gè)點(diǎn)之間的距離、寬度、橫截面積和半徑。與接觸式測(cè)量工具不同，這種測(cè)量位置的設(shè)置非常簡(jiǎn)單。 可以在圖像上標(biāo)記測(cè)量線和測(cè)量點(diǎn)，因此即使是非常小的位點(diǎn)也能準(zhǔn)確測(cè)量。有了測(cè)量輔助工具，就可以使用極值點(diǎn)、中間值點(diǎn)和/或平均值點(diǎn)準(zhǔn)確指定待測(cè)點(diǎn)。在所獲取的數(shù)據(jù)中指定了一個(gè)位點(diǎn)時(shí)，可根據(jù)指定條件自動(dòng)提取特征點(diǎn)。