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KOFLOC質(zhì)量流量控制器  高精度、高速響應(yīng)
KOFLOC質(zhì)量流量控制器  高精度、高速響應(yīng)
KOFLOC 科賦樂是日本流量控制設(shè)備制造商，成立于 1958 年，專注于質(zhì)量流量計和質(zhì)量流量控制器等產(chǎn)品的研發(fā)生產(chǎn)。以下是其部分質(zhì)量流量控制器的介紹：

• 3200 系列：是 3910 系列的后續(xù)產(chǎn)品，適用于新 Cofflock 標(biāo)準的高性能型號。配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，可實現(xiàn)高精度、高速響應(yīng)。采用常閉閥門，方向操作安全，隔膜閥設(shè)計則減少了死體積。流量范圍為 1SCCM~20SLM，控制范圍為 2%~99％（F.S.），響應(yīng)速度在 1 秒內(nèi)（±2％FS 內(nèi)），準確性為 ±1％FS（15~35°C）。
  3660 系列：采用改良型恒定電流溫度差檢測方式流量傳感器，實現(xiàn)快速回應(yīng)。通用的常閉型閥門確保了安全，使用電磁執(zhí)行器保證了高效的可靠性。流量 FS（N2 換算）為 10SCCM-20SLPM，控制范圍為 2%~99％，控制精度為 ±1.0% FS，重復(fù)性為 ±0.5% FS。
  EX-201SC-RJ：作為全新設(shè)計的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器，采用全新結(jié)構(gòu)設(shè)計，體積小巧，尺寸為 763080 mm。支持基于 RS-485 的 Modbus RTU，采用 RJ45 接口。傳感器 / 控制器 / PID 算法沿用了 DF200 系列，精度為 ±1.0% SP（＞35% FS）、0.35% FS（≤35% FS），響應(yīng)時間小于 1 秒，滿量程為 10SCCM - 10SLPM，支持 8 種氣體切換。
  DF-550C 系列：是 DF-250C 系列的全金屬型號，金屬密封結(jié)構(gòu)可以測量和控制半導(dǎo)體工藝氣體和其他腐蝕性氣體。通過新型螺線管改善響應(yīng)速度，在所有流量區(qū)域?qū)崿F(xiàn) 1 秒以內(nèi)高速響應(yīng)。流量范圍為 10SCCM~10SLM，控制范圍為 2%~99％（F.S.），精度為 ±1.0% F.S.，再現(xiàn)性為 ±0.25% F.S.。