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玉崎科學(xué)儀器（深圳）有限公司
中級(jí)會(huì)員·2年
GAR-N100MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
| 參考價(jià) | ￥1666-￥99999 | /件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- GAR-N100 型號(hào)
- MIYUKI/美幸輝 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：16更新時(shí)間：2026-06-23 17:26:09
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- 18825222238
- 地址：
- 深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號(hào)3層
- 個(gè)性化：
- www.ebarapump.net
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產(chǎn)品簡介
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
|---|
GAR 是半導(dǎo)體高純制程專屬電動(dòng)伺服無級(jí)調(diào)節(jié)閥，屬于精密電控流量 / 壓力控制閥，定位高于經(jīng)濟(jì)型 BAR 電動(dòng)蝶閥、氣動(dòng) G 伺服閥；采用無摩擦低塵閘板式流道 + 內(nèi)置斷電電磁抱閘伺服電機(jī)，主打 8/12 寸晶圓刻蝕、PVD/CVD、離子注入等高潔凈、高精密、防泄壓關(guān)鍵腔體穩(wěn)壓，是日系半導(dǎo)體設(shè)備原廠標(biāo)配真空控制閥。
產(chǎn)品介紹
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
GAR：低塵精密伺服閘板式真空調(diào)節(jié)閥
法蘭代碼
N：KF/NW 快裝法蘭（DN25~250 小型腔體）
J：JIS 日標(biāo)法蘭（半導(dǎo)體設(shè)備主力，DN25~400）
I：ISO-F 大法蘭（大型鍍膜、擴(kuò)散爐 DN80~400）
C：CF 刀口金屬法蘭（超高真空無油腔體 DN25~150）
數(shù)字：公稱通徑 A (DN)
后綴 B（標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)配）：內(nèi)置電磁剎車，斷電鎖死當(dāng)前開度，防止腔體泄壓報(bào)廢晶圓
示例：
GAR-J100B：JIS100 法蘭半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)伺服調(diào)壓閥
GAR-I300B：ISO300 大口徑量產(chǎn)沉積設(shè)備主抽控制閥
GAR-C80B：CF80 超高真空可烘烤高純腔體調(diào)節(jié)閥
核心應(yīng)用場景（僅限高純真空工藝）
半導(dǎo)體晶圓制造（核心場景）
8/12 寸刻蝕機(jī)、PVD 磁控濺射、CVD 薄膜沉積、離子注入、ALD 原子層沉積腔體，工藝載氣精密穩(wěn)壓、防止斷電泄壓損傷晶圓
優(yōu)良顯示 / OLED 制造
Mini/Micro OLED 蒸鍍、LTPS 薄膜設(shè)備高純真空腔體流量調(diào)節(jié)
科研超高真空精密設(shè)備
電子束曝光、分子束外延 MBE、超高真空表面分析腔體
特種光學(xué)鍍膜
高精度光學(xué)鏡頭、紅外薄膜、半導(dǎo)體靶材鍍膜，嚴(yán)控顆粒與壓力波動(dòng)
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