田永福
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產(chǎn)品型號LFHS3
品 牌Piezoconcept
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地北京市
更新時間:2026-02-05 18:06:39瀏覽次數(shù):105次
田永福
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價格區(qū)間 | 3萬-5萬 |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,制藥/生物制藥,電氣,綜合 | XY軸行程 | 120mm×80mm |
| 分辨率 | 22nm | 重復(fù)精度 | 700nm(RMS) |
| 負(fù)載 | 5kg | 速度 | 0-7mm/s |
| 適配顯微鏡品牌 | 徠卡、尼康、奧林巴斯、蔡司 | 線性度 | 0.02% |
在工業(yè)高速檢測、超分辨成像等領(lǐng)域,XYZ軸的高速同步、大孔徑與集成化是核心需求。PIEZOCONCEPT LFHS3 3軸納米定位平臺以“高速動態(tài)響應(yīng)、大孔徑集成、高同步精度"為核心特點(diǎn),由LFHS2 XY軸平臺與集成Z軸組成,解決了傳統(tǒng)3軸平臺組裝復(fù)雜、同步性差的行業(yè)痛點(diǎn),成為工業(yè)檢測與科研的優(yōu)選設(shè)備。
該平臺XY軸行程30μm~75μm,Z軸行程50μm,分辨率低至0.03nm(XY軸)、0.05nm(Z軸),重復(fù)定位精度優(yōu)于0.15nm(XY軸)、0.1nm(Z軸)。主體采用7075鋁合金材質(zhì),XY軸剛度4N/μm、3N/μm,Z軸剛度2.7N/μm,水平負(fù)載1kg,垂直負(fù)載0.5kg。核心亮點(diǎn)為66mm×66mm大孔徑設(shè)計(jì),兼容大型樣品與光學(xué)組件,XYZ軸共振頻率達(dá)3000Hz/2000Hz/3500Hz,掃描速度500Hz,階躍響應(yīng)時間短于2ms。
| 技術(shù)參數(shù) | XY軸 | Z軸 | 系統(tǒng)優(yōu)勢 |
|---|---|---|---|
| 行程 | 30/50/75μm | 50μm | 多行程選項(xiàng),適配不同場景 |
| 分辨率 | 0.03/0.05/0.075nm | 0.05nm | 納米級精度,滿足高速檢測需求 |
| 共振頻率 | 3000Hz/2000Hz | 3500Hz | 高速響應(yīng),支持動態(tài)掃描 |
| 孔徑尺寸 | 66mm×66mm | 大孔徑兼容大型樣品與光學(xué)組件 | |
| 負(fù)載 | 1kg(水平)/0.5kg(垂直) | 承載檢測探頭與重型樣品 | |
在工業(yè)高速檢測領(lǐng)域,該平臺可用于半導(dǎo)體芯片的三維缺陷檢測,XY軸高速掃描覆蓋芯片表面,Z軸精準(zhǔn)控制檢測深度,500Hz掃描速度提升檢測效率,大孔徑兼容檢測探頭與樣品夾具;在超分辨顯微鏡應(yīng)用中,XYZ軸的高同步精度可實(shí)現(xiàn)樣品的三維快速成像,0.03nm分辨率確保成像細(xì)節(jié)清晰,適配生物醫(yī)學(xué)與材料科學(xué)的微觀觀測;在激光加工領(lǐng)域,該平臺可精準(zhǔn)控制激光焦點(diǎn)的三維位置,高速響應(yīng)能力適配動態(tài)加工需求,大孔徑設(shè)計(jì)兼容加工樣品與輔助光學(xué)組件。
北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司,田永福。
PIEZOCONCEPT LFHS3 3軸納米定位平臺的核心優(yōu)勢在于“集成化+高速高精度",出廠前已完成XYZ軸集成與校準(zhǔn),避免用戶自行組裝的同步性問題。66mm×66mm大孔徑設(shè)計(jì)解決了傳統(tǒng)3軸平臺遮擋光路或樣品的問題,適配各類大型檢測設(shè)備。閉環(huán)PI反饋控制可動態(tài)補(bǔ)償溫度變化與蠕變,硅高分辨率傳感器確保XYZ軸同步精度,線性度誤差低于0.02%。安裝過程便捷,底部配備標(biāo)準(zhǔn)化安裝孔,電纜出口位置合理,便于集成到工業(yè)生產(chǎn)線或科研設(shè)備中。
對于工業(yè)檢測設(shè)備采購經(jīng)理,該平臺的集成化設(shè)計(jì)降低安裝與調(diào)試成本,高速特性提升生產(chǎn)檢測效率;維修工程師可通過清晰的軸標(biāo)識與標(biāo)準(zhǔn)化接口快速排查故障,平臺結(jié)構(gòu)堅(jiān)固,故障率低,維護(hù)成本低。作為3軸定位設(shè)備,該平臺為工業(yè)高速檢測、超分辨成像等場景提供穩(wěn)定可靠的三維定位支持,助力企業(yè)提升產(chǎn)品質(zhì)量與科研效率。

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