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什么是真空計?
真空計,也稱為真空表計和真空規(guī)管,是通過測量真空下氣體的壓力來判斷真空度的高低,廣泛用于科研和工業(yè)生產(chǎn)。
根據(jù)真空計測量原理所采用的不同物理機制,真空計主要可分為三類:利用力學(xué)性能(如波爾登真空計和薄膜電容規(guī))、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)(如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī))和利用帶電粒子效應(yīng)(熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī))。
工業(yè)上按照真空度的大小劃分為以下幾個等級:
· 低真空 10^5~10^2pa
· 中真空 10^2~10^-1 pa
· 高真空 10^-1~10^-5 pa
· 超高真空 <10^-5 pa
對于每一個等級內(nèi)的真空度,最佳的測量儀器是不一樣的,具體來說,若處于中低真空的范圍,通常選用皮拉尼規(guī)真空計、電容式薄膜真空規(guī)和壓阻式真空規(guī)進行測量。
皮拉尼復(fù)合真空計
基于熱導(dǎo)式原理,在玻璃管殼中安裝一根金屬絲,給金屬絲通熱發(fā)電,使其溫度高于周圍氣體和管殼的溫度,于是在熱絲和管殼之間產(chǎn)生熱傳導(dǎo)。當(dāng)達到熱平衡時,熱絲的溫度決定于氣體熱對流。在一定的壓力范圍內(nèi),氣體壓力越高,傳導(dǎo)的熱量就越多,熱平衡后金屬絲溫度就越低。即電阻絲的溫度與氣體壓力存在負相關(guān)的關(guān)系,通過金屬絲的溫度可以計算氣體壓力。
集成了先進的氣壓傳感器模塊和 MEMS 皮拉尼真空傳感器芯片,配備了彩色液晶顯示屏 (TFT-LCD)和直觀的按鍵控制,支持 Pa、Torr、mbar 三個常用單位的切換,提供模擬電壓輸出和 RS485 通信協(xié)議, 配備了標準的 KF16 壓力接口,方便用戶與各種設(shè)備和系統(tǒng)進行連接和數(shù)據(jù)交換。
電容薄膜真空規(guī)
膜片因壓力變化而發(fā)生彈性偏移,偏移量的變化引起電容量的變化,最后由數(shù)字電路測量并轉(zhuǎn)換成輸出信號。CPCA系列電容薄膜真空規(guī),可耐受腐蝕性工藝介質(zhì)。
壓阻式真空規(guī)
壓阻式真空規(guī)的工作原理基于半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)。當(dāng)外部壓力作用在真空規(guī)內(nèi)部的金屬膜片上時,金屬膜片會發(fā)生微小的形變,導(dǎo)致內(nèi)部電路中的電阻值發(fā)生變化。這種電阻值的變化可以精確地測量出來,并轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的壓力或真空度值。
蘇州昀控電子科技有限公司是一家專注做電容薄膜真空計的廠家,是上海振太的代理商,振太真空計是薄膜真空計的行業(yè)標準制定者,產(chǎn)品有多個系列,可以替代進口MKS 和英??档绕放?,目前CPCA-300Z 防爆型真空計在核工業(yè) 半導(dǎo)體 航空航天等多個領(lǐng)域有應(yīng)用。
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