韓國DK-LOK半導體高純隔膜閥潔凈手動直通閥

產(chǎn)地：MADE IN KOREA 韓國原廠原裝制造

類目歸屬：半導體產(chǎn)品 → 潔凈隔膜閥系列

完整型號：VBC

產(chǎn)品全稱：半導體級高純 VBC 系列手動直通隔膜閥

韓國DK-LOK半導體高純隔膜閥潔凈手動直通閥

工作原理

純手動機械驅(qū)動控制閥門，無電動 / 氣動外接驅(qū)動，依靠人工旋動手輪實現(xiàn)全行程精準控制：

順時針旋緊：閥桿下壓隔膜片，緊密貼合密封閥座，閥門關斷，實現(xiàn)管路氣密鎖閉；

逆時針旋松：隔膜片回彈抬升，流道貫通，閥門開啟介質(zhì)流通；

可實現(xiàn)微行程精準調(diào)節(jié)，兼顧全關、微調(diào)、全開多檔位控制，操作行程刻度可視化，每次開關位置可精準復現(xiàn)。

五、原廠完整技術參數(shù)

閥體材質(zhì)：一體精密鍛造 316L 不銹鋼，結構強度高，抗應力腐蝕、耐機械沖擊，適配高壓工況。

潔凈處理等級：整機EP 級電解拋光，內(nèi)壁粗糙度 Ra≤0.6μm，原廠超純水潔凈清洗、百級潔凈車間組裝、全流程氦檢氣密測試、真空潔凈獨立封裝，半導體 6N（99.9999%）超高純氣體標準，無顆粒析出、無氣體吸附、無二次管路污染。

隔膜密封材質(zhì)：高純PCTFE（三氟氯樹脂） 專用隔膜，耐絕大多數(shù)半導體腐蝕性特種氣體（含氟蝕刻氣、MO 源金屬有機前驅(qū)體、酸性工藝氣體）、耐高低溫、抗老化、密封壽命極長，百萬次啟閉密封性能不衰減，無泄漏風險。

壓力等級：最高工作耐壓 6000 psig（413bar），覆蓋半導體特氣系統(tǒng)全高低壓工況。

工作溫度范圍：-40℃ ~ +200℃，寬溫域適配，兼容低溫氣源、高溫工藝管路全場景環(huán)境。

適配口徑：覆蓋半導體全常用小口徑規(guī)格 1/8"、1/4"、3/8"、1/2"。

接口形式：標準外螺紋接口，可直接轉(zhuǎn)接雙卡套接頭、對焊管接頭、集成氣路面板焊接接口，全管路通用適配。

密封性能：零氣泡級氣密關斷，無外漏、無內(nèi)泄杜絕特氣泄漏、串氣安全隱患。

核心產(chǎn)品優(yōu)勢

隔膜閥專屬潔凈優(yōu)勢

無填料函、無閥桿外露泄漏結構，隔絕外界環(huán)境氣體滲入，內(nèi)部低死區(qū)流道設計，氣體無殘留、置換，是半導體超純特氣管路通斷閥結構。

可視化精準操作

頂部手輪自帶開閉刻度與位置指針，閥門狀態(tài)一目了然，操作行程可精準復現(xiàn)，避免人工誤操作。

全材強耐腐蝕性

閥體、隔膜密封全部適配半導體高危有毒、腐蝕性特種工藝氣體，適配范圍遠超普通針型閥、球閥。

結構緊湊通用性強

方體閥體體積小巧適配集成氣柜、特氣面板、機臺內(nèi)部狹小安裝空間，水平、垂直管路均可安裝。

長壽命高穩(wěn)定

無易損活動零部件，隔膜結構抗疲勞性能優(yōu)異，長期使用密封不失效、無閥件老化故障，維護成本極低。