日本KANKEN工藝廢氣處理設備熱氧化分解裝置

KT1000MOC 是日本 KANKEN Techno 專為MO-CVD 工藝開發(fā)的大流量廢氣無害化處理裝置，采用 “反應熱自維持氧化" 技術，無需燃料氣、無需持續(xù)電加熱，可安全、高效處理 MO 源、NH?、H?、SiH?等復雜工藝廢氣，是 LED、功率器件、第三代半導體制造的核心環(huán)保設備。

日本KANKEN工藝廢氣處理設備熱氧化分解裝置

五大核心產(chǎn)品優(yōu)勢

1. 反應熱自維持技術，H?處理時零耗電

利用大流量 NH?、H?反應釋放的熱量實現(xiàn)自維持燃燒，處理高濃度氫氣時加熱器功率幾乎為零，無需持續(xù)電加熱，大幅降低運行能耗，是 MO-CVD 工藝的節(jié)能方案。

2. 無燃料氣、無排水設計，綠色環(huán)保

全程不使用化石燃料，不產(chǎn)生額外 CO?排放；同時采用無排水工藝，避免廢水處理成本與二次污染，符合半導體工廠低碳環(huán)保與潔凈廠房管理要求。

3. 全系列安全防護，杜絕工藝風險

搭載*的故障保護機制：入口溫度傳感器實時監(jiān)測氣體溫度，異常時自動啟動緊急泄壓裝置；逆火防止安全閥可快速切斷氣流，杜絕回火風險，保障 MO-CVD 工藝穩(wěn)定運行。

4. 適配大流量 MO-CVD 工藝，處理效率行業(yè)

專為 MO-CVD 工藝的大流量、高濃度復雜廢氣設計，可高效氧化分解 MO 源、NH?、H?、SiH?等多種成分，處理效率高，滿足嚴苛環(huán)保法規(guī)與工藝安全要求。

5. 成熟應用驗證，適配 LED 與功率器件產(chǎn)線

在全球半導體工廠的 LED、功率器件、第三代半導體制造工藝中擁有大量成功應用案例，設備穩(wěn)定性與工藝兼容性經(jīng)過市場長期驗證，是大規(guī)模 MO-CVD 產(chǎn)線的標配設備。

典型應用場景

LED 行業(yè)：藍綠光 LED、Mini/Micro LED 外延工藝 MO-CVD 廢氣處理。

功率器件行業(yè)：IGBT、MOSFET 等功率器件外延工藝廢氣處理。

第三代半導體行業(yè)：SiC、GaN 外延工藝 MO-CVD 廢氣無害化處理。

先進半導體工廠：MO-CVD 工藝集中廢氣處理系統(tǒng)部署，適配高密度潔凈廠房。