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產(chǎn)地類別	進(jìn)口	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

日本Azbil MEMS 熱式微小液體流量計(jì)

全系列量程劃分（三大主力型號(hào)）

1.F7M9010：測(cè)量區(qū)間 0.1～10mL/min，適用點(diǎn)滴給藥、微量試劑配比，最小可捕捉 0.1mL/min 細(xì)微流量變化2.F7M9030：測(cè)量區(qū)間 0.3～30mL/min，市面通用主力規(guī)格，半導(dǎo)體涂膠、消毒液噴淋標(biāo)配型號(hào)3.F7M9050：測(cè)量區(qū)間 0.5～50mL/min，全系列大流量款，鋰電電解液定量灌裝、清洗劑配比使用

接頭分兩種選配：3mm 外徑氟塑軟管接頭、1/8 英寸英制軟管接頭，匹配日系自動(dòng)化設(shè)備常規(guī)管路規(guī)格。

工作原理

依托阿自倍爾自研 MEMS 熱傳感技術(shù)，傳感器布置在流道外壁不接觸介質(zhì)，探頭發(fā)出恒定熱量，液體流經(jīng)帶走熱量形成溫差，通過(guò)前后測(cè)溫元件差值換算實(shí)時(shí)流量數(shù)值，不受液體顏色、輕微雜質(zhì)影響，小幅氣泡、流體脈動(dòng)環(huán)境依舊保持測(cè)量穩(wěn)定，配套上位軟件可依照液體導(dǎo)熱系數(shù)修正不同介質(zhì)測(cè)量誤差。

日本Azbil MEMS 熱式微小液體流量計(jì)

產(chǎn)品核心特點(diǎn)

1. 直通直管流路設(shè)計(jì)，全面、無(wú)殘液囤積，死體積小，便于設(shè)備原位清洗，運(yùn)行壓降低，不會(huì)阻礙微量液體輸送2. 全防腐接液配置，石英 + 氟樹脂組合兼容絕大多數(shù)醇類、酮類、弱酸、光刻液、電解液，規(guī)避金屬被介質(zhì)腐蝕滲漏問(wèn)題3. 機(jī)身小巧輕便，自帶原裝固定支架，支持水平臥式、垂直立式兩種安裝，流向垂直安裝要求液體自下往上流通，機(jī)柜內(nèi)嵌、設(shè)備模組安裝都適配4.IP65 整機(jī)防塵防水，機(jī)身無(wú)外露金屬殼體，液體飛濺、潮濕車間環(huán)境可長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行，僅配置 LED 狀態(tài)指示燈，故障、空管、堵液自動(dòng)燈光提醒5. 集成多類型輸出信號(hào)，4-20mA 模擬量搭配數(shù)字輸入輸出，可直連 PLC 工控系統(tǒng)，同步采集瞬時(shí)流量與累計(jì)流量數(shù)據(jù)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化閉環(huán)控液

適用行業(yè)場(chǎng)景

半導(dǎo)體行業(yè)：晶圓光刻膠微量涂布、顯影液、剝離藥劑精準(zhǔn)輸送管控
鋰電池制造：電解液微量加注、極片表面助劑微量噴涂計(jì)量
精細(xì)化工：各類助劑、清洗劑微量配比、小樣量產(chǎn)流量監(jiān)控

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