一、產(chǎn)品定位

1. B/BH：氣動(dòng)通斷 / 兩段緩抽閥，僅開關(guān) / 快慢檔位，無連續(xù)調(diào)壓

2. G 系列：氣動(dòng)伺服調(diào)節(jié)，氣源驅(qū)動(dòng)，無電機(jī)發(fā)熱，大口徑通用

3. BAR：經(jīng)濟(jì)型電動(dòng)直驅(qū)蝶閥，無斷電抱閘，常規(guī)鍍膜 / 鋰電使用

4. GAR：高純低塵伺服閘板調(diào)節(jié)閥，標(biāo)配斷電鎖止，半導(dǎo)體工藝專用

二、完整型號(hào)命名規(guī)則

1. GAR：低塵精密伺服閘板式真空調(diào)節(jié)閥

2. 法蘭代碼

• N：KF/NW 快裝法蘭（DN25~250 小型腔體）

• J：JIS 日標(biāo)法蘭（半導(dǎo)體設(shè)備主力，DN25~400）

• I：ISO-F 大法蘭（大型鍍膜、擴(kuò)散爐 DN80~400）

• C：CF 刀口金屬法蘭（超高真空無油腔體 DN25~150）

3. 數(shù)字：公稱通徑 A (DN)

4. 后綴 B（標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)配）：內(nèi)置電磁剎車，斷電鎖死當(dāng)前開度，防止腔體泄壓報(bào)廢晶圓

   示例：

• GAR-J100B：JIS100 法蘭半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)伺服調(diào)壓閥

• GAR-I300B：ISO300 大口徑量產(chǎn)沉積設(shè)備主抽控制閥

• GAR-C80B：CF80 超高真空可烘烤高純腔體調(diào)節(jié)閥

三、核心結(jié)構(gòu)與高純低塵優(yōu)勢(shì)

1. 閘板式無金屬摩擦流道（核心低塵設(shè)計(jì)）

2. 伺服電機(jī)直驅(qū) + 內(nèi)置斷電電磁抱閘

3. 微小開度線性穩(wěn)壓，流量控制精度拉滿

4. 超低雙重泄漏指標(biāo)（高純真空標(biāo)準(zhǔn)）

• 閥座內(nèi)漏：≤1×10?1? Pa?m3/s

• 閥桿軸封外漏：≤1×10?1? Pa?m3/s

  遠(yuǎn)優(yōu)于 BAR 系列 1×10??標(biāo)準(zhǔn)，適配特種腐蝕、高純度工藝氣體無滲漏污染腔體。

5. 靜音低放氣結(jié)構(gòu)

四、標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)參數(shù)

1. 壓力適用區(qū)間

   常壓 1×10? Pa ~ 高真空 1×10?? Pa；CF 法蘭款可達(dá) 1×10?? Pa 超高真空

2. 材質(zhì)與耐溫

• 介質(zhì)接觸部：SUS304 鏡面電解拋光，低放氣低發(fā)塵

• 標(biāo)準(zhǔn)密封：FKM 氟橡膠 O 圈；標(biāo)配可升級(jí) Kalrez 全氟醚（鹵素、氟化物、等離子腐蝕工況，耐 150℃烘烤）

• 閥體烘烤上限：150℃；伺服電機(jī)環(huán)境溫度≤40℃，電機(jī)不可烘烤

3. 電氣驅(qū)動(dòng)規(guī)格

• 供電：DC24V 伺服電機(jī)

• 控制信號(hào)：0~10V 模擬電壓開度指令，0~10V 閥位反饋

• 全行程動(dòng)作時(shí)間：1.0~2.0s，支持阻尼減速防氣流沖擊

4. 全口徑覆蓋

• KF(N)：DN25/40/50/63/80/100/160/200/250

• JIS (J)/ISO (I)：DN80~DN400（半導(dǎo)體量產(chǎn)大腔體專用大口徑）

• CF (C)：DN25~DN150 超高真空機(jī)型

五、可選配置清單

1. 密封升級(jí)：Kalrez 全氟醚密封圈，適配 Cl?、SF?、等離子強(qiáng)腐蝕半導(dǎo)體特種氣體

2. 控制器配套（二選一）

• MS-VP：定點(diǎn)開度簡(jiǎn)易控制，單閥手動(dòng)設(shè)定開度

• MGCS-11 / MG-mini485：全自動(dòng) PID 閉環(huán)壓力控制器，RS485 通訊、多組工藝配方存儲(chǔ)，控壓精度 ±0.1% 設(shè)定值，對(duì)接設(shè)備上位機(jī)

3. 閥位信號(hào)：NPN/PNP 數(shù)字到位開關(guān) + 連續(xù)模擬反饋雙輸出

4. 防腐強(qiáng)化：閥體電化學(xué)鈍化處理，適配酸堿工藝尾氣

5. 安全定制：特殊失氣 / 斷電強(qiáng)制全關(guān)定制款（危險(xiǎn)工藝腔體）