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玉崎科學儀器（深圳）有限公司
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GAR-J100MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
| 參考價 | ￥1666-￥99999 | /件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準
- GAR-J100 型號
- MIYUKI/美幸輝 品牌
- 代理商 廠商性質(zhì)
- 深圳市 所在地
訪問次數(shù)：15更新時間：2026-06-23 17:24:28
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- 地址：
- 深圳市龍華區(qū)龍華街道松和社區(qū)匯食街一巷7號3層
- 個性化：
- www.ebarapump.net
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產(chǎn)品簡介
| 價格區(qū)間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
|---|
GAR 是半導體高純制程專屬電動伺服無級調(diào)節(jié)閥，屬于精密電控流量 / 壓力控制閥，定位高于經(jīng)濟型 BAR 電動蝶閥、氣動 G 伺服閥；采用無摩擦低塵閘板式流道 + 內(nèi)置斷電電磁抱閘伺服電機，主打 8/12 寸晶圓刻蝕、PVD/CVD、離子注入等高潔凈、高精密、防泄壓關鍵腔體穩(wěn)壓，是日系半導體設備原廠標配真空控制閥。
產(chǎn)品介紹
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
MIYUKI美幸輝 真空蝶閥 GAR 系列
GAR：低塵精密伺服閘板式真空調(diào)節(jié)閥
法蘭代碼
N：KF/NW 快裝法蘭（DN25~250 小型腔體）
J：JIS 日標法蘭（半導體設備主力，DN25~400）
I：ISO-F 大法蘭（大型鍍膜、擴散爐 DN80~400）
C：CF 刀口金屬法蘭（超高真空無油腔體 DN25~150）
數(shù)字：公稱通徑 A (DN)
后綴 B（標準標配）：內(nèi)置電磁剎車，斷電鎖死當前開度，防止腔體泄壓報廢晶圓
示例：
GAR-J100B：JIS100 法蘭半導體標準伺服調(diào)壓閥
GAR-I300B：ISO300 大口徑量產(chǎn)沉積設備主抽控制閥
GAR-C80B：CF80 超高真空可烘烤高純腔體調(diào)節(jié)閥
核心應用場景（僅限高純真空工藝）
半導體晶圓制造（核心場景）
8/12 寸刻蝕機、PVD 磁控濺射、CVD 薄膜沉積、離子注入、ALD 原子層沉積腔體，工藝載氣精密穩(wěn)壓、防止斷電泄壓損傷晶圓
優(yōu)良顯示 / OLED 制造
Mini/Micro OLED 蒸鍍、LTPS 薄膜設備高純真空腔體流量調(diào)節(jié)
科研超高真空精密設備
電子束曝光、分子束外延 MBE、超高真空表面分析腔體
特種光學鍍膜
高精度光學鏡頭、紅外薄膜、半導體靶材鍍膜，嚴控顆粒與壓力波動
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