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COVOT-CR4ULVAC/日本愛發(fā)科真空輸送機(jī)機(jī)器人
| 參考價(jià): | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)- COVOT-CR4 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：18更新時(shí)間：2026-06-22 11:39:18
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
產(chǎn)品介紹
ULVAC/日本愛發(fā)科真空輸送機(jī)機(jī)器人，型號：COVOT-CR4
ULVAC/日本愛發(fā)科真空輸送機(jī)機(jī)器人，型號：COVOT-CR4
真空運(yùn)輸機(jī)器人基于作為真空設(shè)備制造商所培育的廣泛技術(shù)，能夠提供清潔且高度可靠的性能。我們提供多樣化的產(chǎn)品線，兼容多種吸塵設(shè)備。 我們提供多種根據(jù)設(shè)備規(guī)格量身定制的臂，如手?jǐn)?shù)、轉(zhuǎn)彎半徑和行程。 配備剛性臂和高度可靠的執(zhí)行器，實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定的運(yùn)輸能力
COVOT系列真空輸送機(jī)器人能夠高效運(yùn)輸多片晶圓，實(shí)現(xiàn)高通量。 此外，它配備了運(yùn)輸過程中的自動校正功能，使其成為一臺高度可靠的真空運(yùn)輸機(jī)器人。
特色
我們提供多種臂型，針對行程、轉(zhuǎn)彎半徑和運(yùn)輸板數(shù)量量身定制。
COVOT-CR4采用磁性流體密封，使其能夠在10-6Pa的高真空條件下工作。
規(guī)格
| 模型 | COVOT-6-X5 | COVOT-CR4 | |
| 工作壓力范圍 | 大氣壓 ~ 10-1 Pa | 大氣壓 ~ 10-6 Pa | |
| 晶圓尺寸 | 200/300毫米 | 200/300毫米 | |
| 持有的晶圓數(shù)量 | 4張紙 | 2張紙 | |
| 最大距離 * | 880毫米 | 1050毫米 | |
| 旋轉(zhuǎn)角 | 360° 無盡 | ±180° | |
| 抬力行程 | 110毫米 | 120毫米 | |
| 最小轉(zhuǎn)彎直徑 * | 980毫米 | 960毫米 | |
| 載荷能力（包括手部） | 1公斤 | 1公斤 | |
| 工作速度 | 擴(kuò)張與收縮 | 最大1.5秒/全行程 | 最大 1.5 秒/780mm |
| 轉(zhuǎn)過身 | 最大2.0秒 / 180° | 最大2.0秒 / 180° | |
| 上升與下降 | 最大1.5秒 / 20毫米 | 最大3.5秒 / 105毫米 | |
| 重復(fù)定位精度 | 擴(kuò)張與收縮 | ±0.1毫米 | ±0.1毫米 |
| 轉(zhuǎn)過身 | ±0.1毫米 | ±0.1毫米 | |
| 上升與下降 | ±0.1毫米 | ±0.1毫米 | |
| 教學(xué)吊墜 | 附屬 | 附屬 | |
| 控制器 | 分開 | 分開 | |
*具體情況取決于安裝的手臂和手型。
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