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宮崎科技（廈門）有限公司
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ELEC-RZULVAC/日本愛發(fā)科真空輸送機機器人
| 參考價: | ￥ 99999 |
| 訂貨量: | 1件 |
具體成交價以合同協(xié)議為準- ELEC-RZ 產(chǎn)品型號
- ULVAC/日本愛發(fā)科 品牌
- 經(jīng)銷商 廠商性質(zhì)
- 廈門市 所在地
訪問次數(shù)：24更新時間：2026-06-22 11:41:08
馮女士
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產(chǎn)品簡介
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電子/電池,制藥/生物制藥,汽車及零部件,綜合 |
|---|
產(chǎn)品介紹
ULVAC/日本愛發(fā)科真空輸送機機器人，型號：ELEC-RZ
ULVAC/日本愛發(fā)科真空輸送機機器人，型號：ELEC-RZ
真空運輸機器人基于作為真空設(shè)備制造商所培育的廣泛技術(shù)，能夠提供清潔且高度可靠的性能。我們提供多樣化的產(chǎn)品線，兼容多種吸塵設(shè)備。 我們提供多種根據(jù)設(shè)備規(guī)格量身定制的臂，如手數(shù)、轉(zhuǎn)彎半徑和行程。 配備剛性臂和高度可靠的執(zhí)行器，實現(xiàn)了穩(wěn)定的運輸能力
特色
磁性流體密封用于真空密封，支持高達10-6Pa的高真空水平。
通過微型化執(zhí)行器，我們實現(xiàn)了更緊湊的設(shè)計，并使設(shè)備安裝更加便捷。
根據(jù)劃槳、轉(zhuǎn)彎半徑、手數(shù)等，有多種手臂可供選擇。
它配備了多功能教學(xué)吊墜，使用性。
規(guī)格
| 模型 | ELEC-RZ | |
| 工作壓力范圍 | 大氣壓 ~ 10-6 Pa | |
| 晶圓尺寸 | 200毫米/300毫米 | |
| 持有的晶圓數(shù)量 | 1 / 2 件 | |
| 最大距離 * | 1050毫米 | |
| 旋轉(zhuǎn)角 | ±210° | |
| 抬力行程 | 50毫米 | |
| 最小轉(zhuǎn)彎直徑 * | 配備964毫米安裝臂 | |
| 載荷能力（包括手部） | 1公斤 | |
| 工作速度 | 擴張與收縮 | 最大2.5秒/全行程 |
| 轉(zhuǎn)過身 | 最大3.0秒 / 180° | |
| 上升與下降 | 最大1.5秒 / 20毫米 | |
| 重復(fù)定位精度 | 擴張與收縮 | ±0.1毫米 |
| 轉(zhuǎn)過身 | ±0.1毫米 | |
| 上升與下降 | ±0.1毫米 | |
| 教學(xué)吊墜 | 附屬 | |
| 控制器 | 分開 | |
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