電容薄膜式真空計是用于量測真空度的常用儀器，其量程范圍可達25000Torr~10-5Torr左右，

其量程范圍大，測量精度高；可直接測量壓力，與氣體的組分沒有關系，靈活性高，

因此在半導體設備中應用非常廣泛，主要應用于刻蝕、PVD、CVD、爐管（Furnace）等真空設備中

，一般在腔體與控壓裝置之間的管道上方(CKD forline)垂直安裝。

電容薄膜式真空計由薄膜（上表面鍍有金屬）、電極、吸氣泵、傳感器等構成

吸氣泵主要用于將參考腔體中的氣體抽走，制造高真空的環(huán)境；

薄膜（一般為陶瓷薄膜，Al2O3,厚度約250μm）與電極形成電容，

當測量腔體的氣體從真空計下端進入測量腔體后，氣體會擠壓陶瓷薄膜，

從而改變薄膜與電極之間的距離，因其電容值的變化，轉(zhuǎn)化為電學信號，進而換算成壓力值，

從而測量出腔體中的真空度。