氣體質(zhì)量流量計(jì)主要可按測量原理進(jìn)行分類,其中 熱式、科里奧利式和層流式 是常見的幾種類型。這些流量計(jì)能夠直接測量氣體的質(zhì)量流量,其測量結(jié)果通常不受氣體溫度和壓力的變化影響。
按測量原理,氣體質(zhì)量流量計(jì)主要有以下幾種分類:
熱式質(zhì)量流量計(jì) (Thermal Mass Flow Meter)
基于熱擴(kuò)散原理,通過測量氣體帶走的熱量來計(jì)算質(zhì)量流量。它可以直接測量質(zhì)量流量,無需進(jìn)行溫壓補(bǔ)償,且無活動部件,壓力損失小,特別適用于測量低流速或微小的氣體流量。
科里奧利質(zhì)量流量計(jì) (Coriolis Mass Flow Meter)
利用科里奧利效應(yīng)進(jìn)行測量2。其工作原理是使測量管(通常為U形管)振動,當(dāng)有流體通過時,流體微粒會受到科里奧利力的作用,產(chǎn)生的扭矩與流體的質(zhì)量流量成正比。
層流式質(zhì)量流量計(jì) (Laminar Mass Flow Meter)
利用層流元件兩端的壓力差來測量流體的體積流量,再結(jié)合已知的溫度和壓力下的修正密度換算成質(zhì)量流量。流體在通過層流元件時會被強(qiáng)制轉(zhuǎn)變?yōu)閷恿鬟\(yùn)動,然后通過壓差傳感器測得壓力差。
其他類型
搜索結(jié)果中還提到了其他一些基于不同原理的氣體質(zhì)量流量計(jì),包括:
質(zhì)量平衡式 :通過測量氣體進(jìn)入和離開儀器的質(zhì)量差異來計(jì)算質(zhì)量流量。
絕壓差式 :通過測量氣體在儀器前后的壓差以及體積和時間來計(jì)算質(zhì)量流量。
能量平衡式 :利用氣體在通過儀器前后分子能量的變化來計(jì)算質(zhì)量流量