田永福
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當(dāng)前位置：北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司>>光學(xué)儀器設(shè)備/配件>>等離子源>> NEO 2400Trymax高吞吐等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)NEO 2400
品 牌Trymax
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
所 在 地北京市
更新時(shí)間：2026-06-23 11:52:30瀏覽次數(shù)：29次
田永福
| 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 價(jià)格區(qū)間 | 100萬(wàn)-150萬(wàn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 能源,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
Trymax NEO 2400是荷蘭Trymax面向高密度量產(chǎn)線打造的Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)，專為大批量MEMS陣列、射頻濾波器、晶圓級(jí)封裝產(chǎn)線設(shè)計(jì)，通過(guò)2/4并行工藝腔體架構(gòu)突破單腔設(shè)備產(chǎn)能瓶頸，實(shí)現(xiàn)不間斷光刻膠灰化、殘?jiān)鼊冸x、薄層干法刻蝕工序。當(dāng)下頭部8英寸廠區(qū)普遍存在產(chǎn)線吞吐不足、多工藝切換等待時(shí)間長(zhǎng)的痛點(diǎn)，Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)依托多腔體并行加工設(shè)計(jì)，單臺(tái)設(shè)備產(chǎn)能接近兩臺(tái)標(biāo)準(zhǔn)單腔設(shè)備，大幅壓縮廠房設(shè)備投入成本。
Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)標(biāo)配4組SMIF密閉載臺(tái)，搭載帶X軌道四軸雙臂機(jī)械手，機(jī)械產(chǎn)能突破300wph，內(nèi)置晶圓冷卻工位與OCR自動(dòng)對(duì)位識(shí)別系統(tǒng)，可同步執(zhí)行兩套不同的等離子工藝，無(wú)需停機(jī)切換制程。設(shè)備支持選配AGV、OHT天車全自動(dòng)對(duì)接，適配無(wú)人工廠全自動(dòng)化流轉(zhuǎn)，四類等離子源模塊自由組合，覆蓋輕度表面清洗至深度聚合物去除全工藝需求。
北京漢達(dá)森機(jī)械技術(shù)有限公司，田永福。
Trymax NEO 200A、Trymax NEO 2000、Trymax NEO 2400、Trymax NEO 3000、Trymax NEO 3400、Trymax NEO 2000UV
| 參數(shù)名稱 | 設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 |
|---|---|
| 支持晶圓尺寸 | 100mm/200mm基板通用 |
| 工藝腔體配置 | 可選2腔/4腔并行獨(dú)立工藝室 |
| 最大機(jī)械產(chǎn)能 | ＞300片/小時(shí) |
| 載臺(tái)配置 | 4組SMIF密閉索引器 |
| 機(jī)械手結(jié)構(gòu) | 4軸雙臂X軌道高速傳輸機(jī)構(gòu) |
| 標(biāo)配集成工位 | 晶圓冷卻站、OCR自動(dòng)對(duì)位讀取 |
| 自動(dòng)化選配模塊 | AGV、OHT天車、Taiko超薄晶圓處理 |
這款Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)采用獨(dú)立隔離式工藝腔體，各腔體等離子功率、氣體流量、工藝時(shí)長(zhǎng)獨(dú)立調(diào)控，產(chǎn)線可同時(shí)運(yùn)行高劑量注入去膠與氮化硅刻蝕兩種制程，互不干擾。機(jī)身采用緊湊型模塊化布局，四腔體整機(jī)占地面積小于市面同規(guī)格雙腔競(jìng)品設(shè)備，對(duì)于的潔凈車間，空間利用率提升40%以上。整機(jī)數(shù)字化總線實(shí)時(shí)監(jiān)控每一片晶圓工藝數(shù)據(jù)，全流程可完整追溯，滿足半導(dǎo)體工廠品質(zhì)審核標(biāo)準(zhǔn)。
Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)主要用于月產(chǎn)能5萬(wàn)片以上8英寸功率半導(dǎo)體、射頻濾波器、MEMS傳感器產(chǎn)線，DRIE深刻蝕后通孔聚合物清洗、凸塊工藝前Descum去膠、碳化硅基板等離子活化等高頻工序均可穩(wěn)定承接。設(shè)備長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行故障率低，原廠標(biāo)準(zhǔn)化零部件全球供應(yīng)，維護(hù)停機(jī)時(shí)間大幅縮短，綜合擁有成本優(yōu)于同規(guī)格美系進(jìn)口設(shè)備。
四腔體并行加工，產(chǎn)能翻倍，有效減少產(chǎn)線設(shè)備采購(gòu)數(shù)量；
多工藝同步運(yùn)行，消除制程切換等待，提升產(chǎn)線整體OEE；
內(nèi)置冷卻與對(duì)位模組，省去配套輔助設(shè)備，簡(jiǎn)化產(chǎn)線布局；
兼容全自動(dòng)天車、AGV對(duì)接，適配未來(lái)智慧工廠升級(jí)改造。
對(duì)于追求高吞吐、低占地、柔性化生產(chǎn)的8英寸大規(guī)模晶圓廠，Trymax NEO 2400 Trymax高吞吐等離子處理系統(tǒng)是量產(chǎn)解決方案。
Trymax NEO 2400高吞吐等離子處理系統(tǒng)、8英寸四腔體等離子去膠設(shè)備、大批量MEMS等離子清洗機(jī)、荷蘭Trymax量產(chǎn)等離子蝕刻設(shè)備
荷蘭Trymax
NEO 200A（入門單腔）
NEO 2000（標(biāo)準(zhǔn)量產(chǎn) 200mm）
NEO 2400（高產(chǎn)能 200mm）
NEO 3000 / NEO 3400（8/12 英寸橋接機(jī)型）
NEO 2000UV（專用 UV 機(jī)型）
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